VeTek Semiconductor は、半導体業界向けの炭化タンタル コーティング材料の大手メーカーです。当社の主な製品には、CVD 炭化タンタル コーティング部品、SiC 結晶成長または半導体エピタキシー プロセス用の焼結 TaC コーティング部品が含まれます。 ISO9001 に合格した VeTek Semiconductor は、品質を適切に管理しています。 VeTek Semiconductor は、反復技術の継続的な研究開発を通じて、炭化タンタル コーティング業界のイノベーターになることに専念しています。
主な製品は、TaCコートガイドリング, CVD TaCコーティングされた3枚花びらガイドリング, 炭化タンタル TaC コーティング ハーフムーン, CVD TaCコーティング 遊星SiCエピタキシャルサセプタ, 炭化タンタルコーティングリング, 炭化タンタル被覆多孔質グラファイト, TaCコーティング回転サセプタ, 炭化タンタルリング, TaCコーティング回転板, TaC コーティングされたウェハサセプタ, TaC コーティングされたディフレクター リング, CVD TaC コーティング カバー, TaCコーティングチャックなど、純度は5ppm以下であり、顧客の要求を満たすことができます。
TaC コーティング グラファイトは、独自の化学気相成長 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。利点は下の写真に示されています。
炭化タンタル (TaC) コーティングは、最大 3880°C という高い融点、優れた機械的強度、硬度、および熱衝撃に対する耐性により注目を集めており、より高い温度要件が必要な化合物半導体エピタキシー プロセスに代わる魅力的な代替品となっています。 Aixtron MOCVDシステムやLPE SiCエピタキシープロセスなど、PVT法によるSiC結晶成長プロセスにも幅広く応用できます。
主な特長:
●温度安定性
●超高純度
●H2、NH3、SiH4、Siに対する耐性
●熱ストックに対する耐性
●グラファイトとの接着力が強い
●絶縁保護コーティングの適用範囲
● 直径750mmまでのサイズ（このサイズに達するのは中国の唯一のメーカーです）
アプリケーション:
●ウェーハキャリア
●誘導加熱サセプター
●抵抗発熱体
●サテライトディスク
●シャワーヘッド
●ガイドリング
●LEDエピレシーバー
●インジェクションノズル
●マスキングリング
●遮熱板
微細断面に炭化タンタル（TaC）コーティング:
VeTek Semiconductor タンタルカーバイドコーティングのパラメータ:
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TaCコーティングの物性
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密度
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14.3 (g/cm3)
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比放射率
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0.3
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熱膨張係数
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6.3 10-6/K
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硬度（HK）
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2000 香港
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抵抗
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1×10-5オーム*センチメートル
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熱安定性
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<2500℃
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グラファイトのサイズ変更
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-10~-20μm
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膜厚
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≥20um 代表値 (35um±10um)
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TaCコーティングEDXデータ：
TaCコーティングの結晶構造データ:
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要素
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原子パーセント
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ポイント1
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ポイント2
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ポイント3
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平均
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C K
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52.10
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57.41
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52.37
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53.96
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彼ら
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47.90
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42.59
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47.63
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46.04
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