炭化タンタルコーティング

VeTek Semiconductor は、半導体業界向けの炭化タンタル コーティング材料の大手メーカーです。当社の主な製品には、CVD 炭化タンタル コーティング部品、SiC 結晶成長または半導体エピタキシー プロセス用の焼結 TaC コーティング部品が含まれます。 ISO9001 に合格した VeTek Semiconductor は、品質を適切に管理しています。 VeTek Semiconductor は、反復技術の継続的な研究開発を通じて、炭化タンタル コーティング業界のイノベーターになることに専念しています。

主な製品は、TaCコートガイドリング, CVD TaCコーティングされた3枚花びらガイドリング, 炭化タンタル TaC コーティング ハーフムーン, CVD TaCコーティング 遊星SiCエピタキシャルサセプタ, 炭化タンタルコーティングリング, 炭化タンタル被覆多孔質グラファイト, TaCコーティング回転サセプタ, 炭化タンタルリング, TaCコーティング回転板, TaC コーティングされたウェハサセプタ, TaC コーティングされたディフレクター リング, CVD TaC コーティング カバー, TaCコーティングチャックなど、純度は5ppm以下であり、顧客の要求を満たすことができます。

TaC コーティング グラファイトは、独自の化学気相成長 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。利点は下の写真に示されています。