業界ニュース

会社ニュース業界ニュース

SiC コーティングされたグラファイトサセプタが半導体エピタキシーに不可欠な理由

CVD SiC コーティングされたグラファイトサセプターが、SiC、GaN、LED、およびシリコン半導体製造において、熱均一性の向上、汚染の削減、コンポーネントの寿命の延長により、エピタキシャル成長をどのように強化するかを学びます。

TaC コーティングされたグラファイトヒーターが、従来の pBN コーティングされたヒーターと比較して、どのように GaN MOCVD エピタキシーの温度均一性を高め、エネルギー消費を削減し、耐用年数を延長するかをご覧ください。

CVD TaC コーティングが炭素汚染の低減、グラファイト部品の保護、耐用年数の延長、高度な半導体製造の結晶品質の向上により、PVT 炉での SiC 結晶の成長をどのように改善するかをご覧ください。

当社は Cookie を使用して、より良いブラウジング体験を提供し、サイトのトラフィックを分析し、コンテンツをパーソナライズします。このサイトを使用すると、Cookie の使用に同意したことになります。プライバシーポリシー