製品

半導体石英

Vetek Semiconductorは、半導体クォーツ製品を専門とする専門のメーカーであり、豊富な業界経験と強力な技術的能力を誇っています。クォーツロッド、クォーツチューブ、クォーツ十字架、石英ボートなど、高品質で高性能の半導体クォーツを顧客に提供し、半導体製造、太陽光発電、光学通信などのアプリケーションのニーズを満たすことに専念しています。



製品の利点:



高純度:当社の半導体クォーツ製品は、高純度の石英砂を原料として使用し、厳密な精製および処理技術の後、製品の純度は99.99%以上に達し、不純物含有量が非常に低く、製品の安定性と信頼性が確保されます。

高精度:当社のクォーツ製品には、正確な寸法、滑らかな表面があり、さまざまなアプリケーションシナリオのニーズを満たすために顧客のニーズに応じてカスタマイズできます。

高耐熱性:当社の石英製品は優れた耐熱性を持ち、高温環境で良好な安定性を維持することができ、半導体製造などの高温プロセスのニーズを満たしています。

高い透過率:当社のクォーツ製品は透過率が高く、光ファイバー通信や太陽光発電などのフィールドで使用して、信号透過安定性と光電気変換効率を確保できます。




半導体製造における製品アプリケーション:


1。クォーツロッド:

Quartz rod

ウェーハの製造:シリコンウェーハの製造用の原料として、描画や研磨などのプロセスを通じてシリコンウェーハに加工されています。


2。クォーツチューブ:

Quartz tube

半導体機器:拡散炉、エッチング機、CVD機器の反応チャンバーなどの半導体機器の構造材料として。


3。クォーツクルーシブル:

Quartz crucible

半導体材料の成長:シリコン単結晶やサファイア結晶などの半導体材料を栽培するための容器として使用されます。


4。クォーツボート:

Quartz boat

半導体デバイスの製造:拡散、アニーリング、その他のプロセスなどの熱処理された半導体デバイスの容器として。


5。他のクォーツ製品:


クォーツウェーハ:半導体デバイスの製造に使用されるマスク。

クォーツウィンドウ:半導体機器および光学器具の観測ウィンドウとして使用されます。

クォーツファイバー:複合材料などの強度を高めるために使用されます。





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高純度クォーツエッチングリング

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ドライ プラズマ エッチング チャンバーは、プラズマ密度、ガス流量、電界分布を安定に保つために、ウェーハ周囲の正確な境界制御に依存しています。 VeTek Semiconductor 高純度石英エッチング リングは、脱ヒドロキシル化溶融石英から作られた半導体グレードのチャンバー コンポーネントです。これらは、ウェハエッジのプロセスゾーンを定義し、プラズマを閉じ込め、ガスの流れをスムーズにし、ウェハ周縁部を保護するのに役立ち、2 ~ 12 インチのシリコン、SiC、GaN、サファイアウェハ全体でより均一なエッチング速度とよりきれいなプロファイルをサポートします。
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VeTek Semiconductor の高純度石英ウェーハ キャリアは、高温熱処理、薄膜堆積、湿式プロセス、および真空用途における安定したウェーハ ハンドリングを実現するために精密に設計された半導体グレードの治具です。半導体グレードの脱ヒドロキシル化溶融石英 (JGS2 相当) から製造されたこれらのウェーハ キャリアは、超高純度、優れた耐熱衝撃性、化学的不活性、低アウトガス、高い平坦性を実現し、2 ~ 12 インチのシリコン、SiC、GaN、サファイア基板に対する信頼性の高い汚染のないサポートを保証します。
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VeTek Semiconductor の高純度石英炉管は、半導体熱処理装置の中核となるプロセス チャンバー コンポーネントです。半導体グレードの脱ヒドロキシル化溶融石英から製造されたこれらのチューブは、酸化炉、拡散炉、アニール炉、および LPCVD システムの密閉反応キャビティとして機能します。卓越した純度、熱安定性、耐薬品性を実現し、4/6/8/12 インチのウェーハ処理において均一な温度場、安定したガス流量、超低汚染性を保証します。
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TEL 半導体装置用の VETEK 高純度石英ウェーハ ボートは、半導体グレードの石英材料から製造され、拡散、酸化、アニーリング、CVD などの高温プロセスでのウェーハ ハンドリング向けに設計されています。優れた熱安定性、耐薬品性、低汚染特性により、半導体製造用途に信頼性の高いウェーハサポートを提供します。
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MOCVD の高温で化学反応性の高い環境、反応チャンバーの保護、およびプロセス制御の精度は最も重要です。 VETEK は、半導体装置内で「クリーンルーム」および「精密ゲート」として機能するように特別に設計された、高品質の不透明 (乳白色) クォーツ コンポーネントを提供します。これらのコンポーネントは、熱放射を管理し、汚染を防止するための、コスト効率が高く、かつ高性能のソリューションを提供します。
AMAT カバートップ クォーツ 8 インチ PCII

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AMAT カバー トップ クォーツ 8 インチ PCII (0200-00218) は、アプライド マテリアルズ Endura PVD チャンバー用に設計された高純度石英コンポーネントで、優れた汚染制御、プラズマの安定性、耐用年数の延長を実現します。200mm 半導体プロセス用に設計されており、チャンバー トップ領域の重要な保護および絶縁要素として機能し、歩留まりとプロセスの一貫性の向上に役立ちます。Vetek Semiconductor は、信頼性の高い性能を備えた精密製造の OEM 互換石英部品を提供しています。グローバルな供給能力を備えておりますので、お問い合わせをお待ちしております。

Find high-purity Semiconductor Quartz components at Veteksemicon—trusted source for quartz-based semiconductor materials.


Veteksemicon offers semiconductor-grade quartz products made from ultra-pure raw materials, ideal for CVD, RTP, diffusion, and wafer cleaning processes.


With excellent thermal stability, optical clarity, and extremely low impurity levels, our quartz components are suitable for applications such as wafer boats, support rings, furnace tubes, and liners. Available for 150mm, 200mm, and 300mm wafer platforms, our quartz delivers exceptional dimensional precision and high thermal resistance. The low thermal expansion and minimal particle generation make it ideal for high-temperature environments like photolithography and advanced packaging.


Whether for thermal processing or optical exposure systems, Veteksemicon provides reliable, cleanroom-compatible quartz solutions engineered for performance.


To learn more, please visit Veteksemicon’s Semiconductor Quartz product page or contact us for technical specifications.


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