素材とデザイン

適合する基板とコーティングの組み合わせを選択することが、コンポーネントの早期故障を防止し、粒子汚染を軽減し、ウェーハの歩留まりを最大化する鍵となります。当社は、お客様の特定のプロセスウィンドウ (動作温度、反応性ガスの化学的性質、ランプ速度) に合わせてカスタマイズされた材料および構造設計ソリューションを提供します。

当社の中核となる設計能力:

厳密な CTE 応力マッチング:急速な熱サイクル (>100 °C/分) の場合、当社は高純度グラファイト基材と CVD コーティングの CTE 温度曲線を正確に一致させ、コーティングの層間剥離や微小亀裂のリスクを根本的に軽減します。
プロセスシナリオ固有のコーティングの選択:Si/SiC エピタキシー (Epi)、MOCVD、およびプラズマエッチング環境向けの CVD SiC コーティング。高温および強い腐食条件（SiC 単結晶 PVT 成長など）向けの CVD TaC コーティング。
制御可能な抵抗率と熱伝導率の最適化:基板およびコーティングのバルク抵抗率と熱伝導率を正確に制御し、RF、ESC 静電チャック、または加熱ゾーンの特定の電界および熱場の要件を満たします。
汚染源管理とCoO削減:高純度 CVD 堆積層は多孔質グラファイトを密封し、粒子の脱落、超微量金属不純物の拡散、および高温ガス放出のリスクを大幅に低減します。

代表的なコーティング選択の比較 (一目で分かるガイド)

コーティング	一般的な塗布方法	主な利点
CVD SiC	Si/SiC エピタキシー (Epi)、MOCVD、部分プラズマエッチング	高純度、良好な熱安定性、耐薬品性、総合的に高いコストパフォーマンス
CVD TaC	高温 SiC 単結晶成長 (PVT)、超高温耐荷重コンポーネント	より高い温度定格 (>1600 °C)、強力な耐食性、優れた耐酸化性

実際のケースと顧客のメリット (経験):

大手 SiC エピタキシー (Epi) メーカー:元のコンポーネントでは不適合な CVD TaC コーティングが使用されていたため、高温で過度の界面応力が発生し、マイクロクラックが頻繁に発生しました。熱力学シミュレーションを再実行し、CTE に適合した特殊高純度グラファイト基板 + バッファ層 + CVD SiC コーティング解決。結果: コンポーネントの平均寿命が 200 時間から 850 時間に増加しました。工具ごとの年間交換頻度が 40 回から 9 回に減少しました。総合的な設備のO&Mコスト削減により、年間65万人民元を超えました。

GDMS purity analysis report for TaC coating

GDMS purity analysis report for SiC coating

TaC および SiC コーティングの GDMS 純度分析レポート

よくある質問

1. Q: CVD SiC コーティングと CVD TaC コーティングのどちらを選択すればよいですか?

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答え:プロセス温度と気相腐食の強度を確認してください。プロセス温度が 1000 °C 未満で、主に Cl2/F2 ベースのエッチングまたは従来のエピタキシーが含まれる場合は、CVD SiC最高のコストパフォーマンスを実現します。プロセス温度が 1200 °C を超え、強い腐食性雰囲気が含まれる場合 (例: SiC PVT 単結晶成長)、CVD TaC優れた温度耐性と耐腐食性を備えています。お客様の特定のプロセスパラメータに基づいて、無料の選択推奨レポートを提供できます。

2. Q: 単品/小ロットのプロトタイピングをサポートしていますか?リードタイムはどれくらいですか?

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答え:はい！プロトタイプのリバースエンジニアリングの場合、MOQは1個です。従来の単純な部品の場合、サンプルの受け取りからマッピングされた部品の納品までの最速のリードタイムは約10～15営業日;複雑なコーティングプロセスを伴う部品の場合、およそ20～25営業日。迅速な評価については、当社のエンジニアにお問い合わせください。

3. Q: 使用中にグラファイト部品の CVD コーティングが剥離する原因は何ですか?解決できるでしょうか？

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答え:層間剥離のケースの 90% は、グラファイト基材とコーティングの熱膨張係数 (CTE) の不一致によって引き起こされ、急速加熱/冷却下での疲労剥離につながります。当社のソリューション: まず元の部品の CTE 曲線を正確に測定し、次に 2 つの CTE が高度に一致するように基板密度と蒸着温度勾配を特別に調整します。接着強度は以上に向上します1.5倍業界従来レベル。