TACコーティングとは何ですか？ -Vetek半導体

TACコーティング（炭化物コーティング）は、化学蒸気堆積（CVD）プロセスによって生成される高性能コーティング材料です。極端な条件下でのTACコーティングの優れた特性により、特に高温と強い腐食性環境を必要とする機器とコンポーネントで、半導体製造プロセスで広く使用されています。 TACコーティングは、通常、高温、腐食性ガス、機械的摩耗による損傷から基板（グラファイトやセラミックなど）を保護するために使用されます。

TACコーティングの物理的特性

製品機能 そして利点

●非常に高い熱安定性:

特徴の説明：TACコーティングの融点は3880°Cを超えており、非常に高温環境で分解や変形なしで安定性を維持できます。

利点：これにより、特にAIXTRON G5機器などのMOCVD反応器の用途向けに、CVD TACコーティングやTACコーティング受容者などの高温半導体機器の不可欠な材料になります。

●優れた腐食抵抗:

特徴の説明：TACは非常に強力な化学的不活性性を持ち、塩化物やフッ化物などの腐食性ガスの侵食に効果的に抵抗できます。

利点：高度に腐食性の化学物質を含む半導体プロセスでは、TACコーティングは化学攻撃から機器コンポーネントを保護し、特に炭化シリコンウェーハボートやその他の主要成分の適用において、サービスの寿命を延ばし、プロセスの安定性を向上させます。

●優れた機械的硬度:

機能の説明：TACコーティングの硬度は9〜10 Mohsと同じであるため、機械的摩耗や高温応力に耐性があります。

アドバンテージ：High Hardnessプロパティにより、TACコーティングは、高摩耗や高ストレス環境での使用に特に適しており、過酷な条件下で機器の長期的な安定性と信頼性を確保します。

●化学反応性が低い:

特徴の説明：その化学的不活性により、TACコーティングは高温環境で低い反応性を維持し、反応性ガスとの不必要な化学反応を避けることができます。

利点：これは、プロセス環境の純度と材料の高品質の堆積を保証するため、半導体製造プロセスで特に重要です。

半導体処理におけるTACコーティングの役割

●重要な機器コンポーネントの保護:

関数の説明：TACコーティングは、極端な条件下で作業する必要があるTACコーティング受容者などの半導体製造装置の主要なコンポーネントで広く使用されています。 TACでコーティングすることにより、これらのコンポーネントは、損傷を受けずに高温および腐食性ガス環境で長時間動作できます。

●機器の寿命を延ばします:

機能の説明：AIXTRON G5などのMOCVD機器では、TACコーティングは、機器コンポーネントの耐久性を大幅に改善し、腐食と摩耗による機器のメンテナンスと交換の必要性を減らすことができます。

●プロセスの安定性を高めます:

機能の説明：半導体製造では、TACコーティングにより、安定した高温と化学環境を提供することにより、堆積プロセスの均一性と一貫性が保証されます。これは、シリコンエピタキシーや窒化ガリウム（GAN）などのエピタキシャル成長プロセスで特に重要です。

●プロセス効率を改善します:

機能の説明：機器の表面でコーティングを最適化することにより、TACコーティングはプロセスの全体的な効率を改善し、欠陥率を下げ、製品の収率を増加させることができます。これは、高精度の高精度の半導体材料の製造にとって重要です。

高熱安定性、優れた腐食抵抗、機械的硬度、および半導体処理中にTACコーティングによって示された低化学反応性は、半導体製造機器コンポーネントを保護するための理想的な選択肢となります。半導体業界の高温、高純度、効率的な製造プロセスに対する需要が増加し続けるにつれて、TACコーティングには、特にCVD TACコーティング、TACコーティング受容者、およびAIXTRON G5が関与する機器とプロセスにおいて、幅広い用途の見通しがあります。

Vetek Semiconductor Technology Co.、Ltdは、半導体業界向けの高度なコーティング材料の大手プロバイダーです。当社は、業界向けの最先端のソリューションの開発に焦点を当てています。

主な製品には含まれていますCVD炭化シリコン（SIC）コーティング, Tantalum Carbide（TAC）コーティング、バルクSIC、SICパウダー、および高純度SIC材料、SICコーティンググラファイト受容器、予熱リング、TACコーティングされた迂回リング、ハーフムーンパーツなど、純度は5ppmを下回り、顧客の要件を満たすことができます。

Vetek Semiconductorは、半導体業界向けの最先端の技術と製品開発ソリューションの開発に重点を置いています。私たちは中国であなたの長期パートナーになることを心から望んでいます.