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TACコーティングされた3ペタルリング
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TACコーティングされた3ペタルリング

Vetek Semiconductorは、中国の主要なTACコーティングされた3ペタルリングメーカーおよびイノベーターです。長年にわたってTACおよびSICコーティングに特化しています。私たちの製品には耐食性があり、高強度があります。中国であなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。いつでも相談しましょう。

VETEK半導体は、プロの中国TACコーティング3ペタルリングメーカーおよびサプライヤーです。TACコーティングされた3ペタルリングは、化合物半導体用のAIXTRON G10 dePositionシステムで使用されます。G10-GAN 150/200 mm Gan Power&RFアプリケーション。

Vetek半導体TACコーティングは、腐食耐性コーティング、酸化耐性コーティング、耐摩耗性コーティングなど、SICよりも高温安定性を備えた高温耐性材料の新世代の高温耐性材料であり、2000を超える環境で使用できます。航空宇宙超高温ホットエンドパーツ、第3世代の半導体単結晶成長およびその他のフィールド。


製品機能:

1。高純度、不純物含有量<5ppm

2。高温抵抗、耐食性、高密度、高密度

3. 高温ではアンモニア、水素、シラン、シリコンに対して化学的に不活性であり、良好な熱安定性を持っています。

4。熱衝撃耐性、動作サイクルをスピードアップできます

5.強力なグラファイト接着により、長いサービス寿命が保証され、コーティング層間が剥離されません。

6.厳密な寸法公差。

主な用途:

1. エピタキシャル成長

2。単結晶の成長

3. 高温腐食の転用

4.高温および酸化耐性ノズル

5。ガスタービンブレード


TACコーティングされた3ペタルリングの製品パラメーター

TaCコーティングの物性
密度 14.3(g/cm³)
比放射率 0.3
熱膨張係数 6.3×10-6/K
硬度(hk) 2000 香港
抵抗 1×10-5オーム*cm
熱安定性 <2500℃
グラファイトのサイズ変更 -10〜-20um
コーティングの厚さ ≥20um 代表値 (35um±10um)


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