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炭化タンタルコーティングされた遊星回転ディスク
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炭化タンタルコーティングされた遊星回転ディスク

VeTek Semiconductor は、中国におけるタンタルカーバイドコーティング遊星回転ディスクの大手メーカーおよびサプライヤーであり、長年にわたって TaC コーティング技術に注力してきました。当社の製品は高純度で優れた高温耐性を有しており、半導体メーカーから広く認められています。 VeTek Semiconductor タンタルカーバイドでコーティングされた遊星回転ディスクは、ウェーハエピタキシー業界のバックボーンとなっています。私たちは、お客様との長期的なパートナーシップを確立し、技術の進歩と生産の最適化を共同で推進できることを楽しみにしています。


高品質の炭化タンタルコーティングされた遊星回転ディスクは、中国のメーカー VeTek Semiconductor によって提供されます。買うタンタル炭化物コーティング高品質をそのまま低価格で実現した遊星回転ディスク。

炭化物コーティングされた惑星回転ディスクは、半導体製造の効率と品質を向上させることを目的としたAixtron G10 Mocvdシステム向けに設計されたアクセサリです。高品質の材料で作られ、精度で製造された炭化物コーティングされた惑星回転ディスクは、優れた性能と信頼性を提供します有機金属化学蒸着 (MOCVD)プロセス.

惑星円盤は、コーティングされたグラファイト基板を使用して構築されています。CVD TAC、優れた熱安定性、高純度、高温耐性を提供します。

Planetary Disk は、さまざまな半導体ウェーハ サイズに合わせてカスタマイズできるため、さまざまな生産要件に適しています。その堅牢な構造は、MOCVD システムの厳しい動作条件に耐えるように特別に設計されており、長期にわたるパフォーマンスを保証し、ウェーハ キャリアとサセプタに関連するダウンタイムとメンテナンス コストを最小限に抑えます。

惑星円盤では、AIXTRON G10 MOCVDシステム半導体製造においてより高い効率と優れた結果を達成できます。その卓越した熱安定性、さまざまなウェーハサイズとの互換性、および信頼性の高いパフォーマンスにより、生産効率を最適化し、困難な MOCVD 環境で優れた成果を達成するための不可欠なツールとなっています。

炭化タンタルコーティング遊星回転ディスクの製品パラメータ:

TaCコーティングの物性
TACコーティング密度 14.3 (g/cm3)
比放射率 0.3
熱膨張係数 6.3*10-6/K
TACコーティングの硬度(hk) 2000 HK
抵抗 1×10-5オーム*センチメートル
熱安定性 <2500℃
グラファイトのサイズ変更 -10~-20μm
膜厚 ≥20um 代表値 (35um±10um)


アルガンバリア:al組成の均一性:

Al composition uniformity


VeTek 半導体製造工場:

VeTek Semiconductor Production Shop

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