LPE用炭化タンタルコーティング半月部品

VeTek Semiconductor は専門メーカーとして、LPE 用の高品質のタンタルカーバイドコーティングされたハーフムーン部品を提供したいと考えています。

VeTek Semiconductor は、高品質とリーズナブルな価格を備えた中国の専門リーダーである SiC、TaC コーティング、固体 SiC メーカーです。当社の LPE 用タンタルカーバイドコーティングされたハーフムーン部品は、基板の搬送、温度制御、加熱のために水平および垂直エピタキシー装置の反応チャンバーで使用されます。保存、換気、保護、その他の機能を備え、反応チャンバー内で成長する SiC エピタキシー層の厚さ、ドーピング、欠陥、その他の材料特性を共同で制御します。

VeTek Semiconductor 関連製品: 上半月、下半月、保護カバー、絶縁カバー、プロセス空気分流インターフェース。当社は、反応チャンバーの SiC コーティングおよび TaC コーティングされたコンポーネント ソリューションの全範囲をお客様に提供することに尽力しています。

LPE用炭化タンタルコーティング半月部品の製品パラメータ

VeTek半導体製造工場：

半導体チップのエピタキシー産業チェーンの概要: