製品

特殊グラファイト

VeTek Semiconductor は、シリコン化グラファイト、熱分解炭素、多孔質グラファイト、ガラス状カーボン コーティング、高純度グラファイト シート、高純度静水圧グラファイトなどの特殊グラファイトを提供しています。これらは、共通の特性と用途を共有する数種類の特殊グラファイト材料です。ここでは、その機能とアプリケーションを簡単に紹介します。

●シリコン化グラファイト:シリコン化グラファイトは、黒鉛とシリコン化合物を組み合わせて形成された特殊な黒鉛材料です。優れた耐高温性、耐食性、機械的特性を示します。シリコン処理グラファイトは、高温炉、耐食装置、半導体製造でよく使用されます。

●熱分解炭素:熱分解炭素は、石炭や石油コークスなどの有機物を高温で熱分解して得られる炭素材料です。高純度、密度、強度、低導電率を誇ります。熱分解炭素は、半導体、化学装置、航空宇宙などの分野における高温材料および構造部品として幅広い用途に使用されています。

● 多孔質黒鉛: 多孔質黒鉛は、ミクロおよびメソ多孔質構造を持つ特殊な黒鉛材料です。比表面積と気孔率が大きく、吸着性と熱伝導性に優れています。多孔質グラファイトは、ガス分離、SiC 結晶成長、その他の用途に一般的に使用されます。

●グラッシーカーボンコーティング:グラッシーカーボンコーティングとは、グラッシーカーボン素材を表面コーティングとして塗布する技術を指します。優れた耐食性、耐摩耗性、導電性を発揮します。ガラス状炭素コーティングは、耐食コーティング、電子ビーム銃用コーティング材料、およびその他の半導体分野で頻繁に使用されます。

●高純度等方性黒鉛:高純度等方性黒鉛は、高温等方性プレス工程を経て製造された高純度の特殊黒鉛素材です。均一な微細構造、高密度、低酸素含有量が特徴です。高純度等方性黒鉛は、精密機械加工、放熱材料、半導体製造、太陽光発電、航空宇宙、その他の産業で広く使用されています。


高純度グラファイトペーパーは、半導体産業で使用される特殊な素材です。卓越した熱伝導性と電気伝導性により、ヒートシンク、サーマルインターフェースマテリアル、電気絶縁などの用途で重要な役割を果たします。高純度グラファイトペーパーは軽量で柔軟性があるため、熱管理を強化し、半導体デバイスの性能を最適化するのに最適です。その高純度 (不純物は 5ppm 以下) により、信頼性の高い効率的な動作が保証され、半導体の製造および組み立てにおいて貴重なコンポーネントとなっています。

これらの特殊なグラファイト材料は、それぞれの分野で独自の特性と応用上の利点を提供します。これらは、高温環境、耐食性、エレクトロニクス、エネルギー、化学工学、航空宇宙、半導体産業において重要な役割を果たしており、これらの分野の進歩と革新に不可欠なサポートを提供しています。


主な特長

●重要な半導体プロセス向けの不純物レベルが 5 ppm 未満の超高純度オプション。

●高温安定性、耐熱衝撃性に優れており、PVT SiC結晶成長や真空炉に適しています。

● 多様な材料形態:静水圧グラファイト、多孔質グラファイト、シリコン化グラファイト、PyC コーティング、グラッシーカーボン コーティング、フレキシブルグラファイト シート。

●ガス管理および熱分野用途向けに優れた耐食性、耐摩耗性、および制御された気孔率を備えています。

● 社内の機械加工およびコーティング機能 (SiC / TaC / PyC) により、ワンストップのカスタマイズ ソリューションが可能になります。

●主要な半導体・結晶成長装置プラットフォームに対応。


製品仕様

熱分解炭素 (PyC) コーティングパラメータ
アイテム ユニット 価値
結晶構造 - 六角
位置合わせ - 001 方向に沿った配向または非配向
かさ密度 g/cm3 ~2.24
微細構造 - 多結晶/多層グラフェン
硬度 GPa 1.1
弾性率 GPa 10
一般的な厚さ μm 30~100
表面粗さ μm 1.5
製品の純度 ppm ≤5ppm


アプリケーション

半導体および高温プロセスの多様なニーズを満たすために、VeTek はターゲットを絞った特殊グラファイト製品を提供しています。次の表は、主要な応用分野ごとにそれらを分類し、代表的な材料/コンポーネントと適用可能なプロセスをリストしています。

応用分野 代表的な材料・製品 アプリケーションの説明
SiC結晶成長(PVT) 多孔質黒鉛, PyC コーティングされたグラファイト リング, 静水圧黒鉛るつぼ, ガイドリング PVT SiC 結晶成長熱フィールドで使用されます。制御された蒸気輸送、高純度、および >2200°C までの熱安定性を提供し、粒子汚染を軽減します。
半導体エピタキシー / MOCVD ヒーター, PyC / グラッシーカーボンコーティング部品 Si/SiC/GaN エピタキシーおよび MOCVD システム用の高純度熱場コンポーネント。優れた温度均一性と化学的不活性性。
高温炉と真空 グラファイトヒーター, 三花弁黒鉛るつぼ 真空炉、ホットゾーンヒーター、高温処理装置用の耐食性と熱安定性を備えた材料。
熱管理 高純度グラファイトフェルト, グラファイトペーパー 半導体デバイスのヒートシンク、サーマルインターフェースマテリアル、および電気絶縁用の柔軟で高熱/電気伝導率のシート (不純物<5 ppm)。
腐食/摩耗保護 ガラス状カーボンコーティング、シリコン化グラファイト 電子ビーム銃や過酷な環境に優れた耐食性、耐摩耗性、導電性を提供する表面コーティングとバルク材料。
ガスの分離と吸着 多孔質黒鉛 ガス分離、濾過、および雰囲気制御用途向けの大きな比表面積を備えたマイクロ/メソ多孔質構造。

製品とプロセスのマッチング ソリューションの詳細については、関連するサブカテゴリ ページを参照してください。多孔質黒鉛, 等方性黒鉛, 熱分解炭素コーティング

製品カテゴリー

Pyrolytic Graphite Coated Graphite Elements 熱分解グラファイト コーティングされたグラファイト要素 Glassy Carbon Coated Graphite Crucible ガラス状炭素コーティングされた黒鉛るつぼ High Purity Porous Graphite 高純度多孔質黒鉛 Three-petal Graphite Crucible 三花弁等方性黒鉛るつぼ High Purity Graphite Paper 高純度グラファイトペーパー PECVD Graphite Boat PECVDグラファイトボート


中国の特殊黒鉛の専門メーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、高度で耐久性のある中国製の特殊グラファイトを購入したい場合でも、メッセージを残してください.


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スリーピース黒鉛るつぼ

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要求の厳しい半導体結晶成長アプリケーションに対して、VETEK スリーピース グラファイトるつぼは、プロセスに必要な安定性、純度、熱均一性を実現します。高品位等方性グラファイトで作られており、オプションで SiC、TaC、または PyC コーティングが施されています。その分割設計は利便性のためだけではありません。熱応力を積極的に軽減し、メンテナンスを迅速化し、サイクルごとに実行を継続します。
PG(熱分解グラファイト)コーティングリング

PG(熱分解グラファイト)コーティングリング

VETEK PG (熱分解グラファイト) コーティング リングは、均一な熱分布と安定した温度が交渉の余地のない半導体熱場および結晶成長環境向けに特別に構築されています。高純度グラファイトベースから始まり、緻密な熱分解グラファイトコーティングで仕上げられたこのコンポーネントは、並外れた熱伝導率を実現し、厳しい熱衝撃に耐え、極端な温度での長時間の稼働でも寸法を維持します。これらのリングは、結晶成長炉、高温オーブン、半導体用の熱フィールドアセンブリなど、正確な温度制御がプロセスの再現性と最終製品の品質に直接影響するあらゆる場所で広く使用されています。
高純度炭化ケイ素 (SiC) パウダー

高純度炭化ケイ素 (SiC) パウダー

VeTek Semiconductor 高純度炭化ケイ素 (SiC) パウダーは、SiC 結晶成長、半導体材料、先端セラミック用途向けに特別に開発されました。高度な精製技術と厳格な品質管理を通じて、当社の SiC パウダーは、要求の厳しい製造プロセスに適した超低不純物レベル、安定した粒子分布、優れた一貫性を実現します。
熱分解炭素(PyC)コーティングされたグラファイトリング

熱分解炭素(PyC)コーティングされたグラファイトリング

SiC PVT 結晶成長セットアップでは、グラファイト部品は非常に高温で長時間稼働します。 VeTek の PyC コーティングされたグラファイト リングは、そのような用途向けに作られています。熱分解炭素層は、CVD によって高純度グラファイト上に堆積されます。これにより、部品の表面安定性が向上し、動作中に脱落する粒子が少なくなります。通常、これを熱フィールド領域に配置して、蒸気の流れと炉内の熱の広がりを管理します。また、このコーティングは、温度が 2200°C を超えるとグラファイトの昇華を遅らせ、コンポーネント全体の寿命を延ばします。
ホットゾーン用のカスタマイズされたグラファイトヒーター

ホットゾーン用のカスタマイズされたグラファイトヒーター

半導体製造および先端材料処理では、熱場の安定性と純度が最終製品の中核となる競争力に直接影響します。 VETEK は、高性能グラファイト加熱システムの研究開発と製造に専念し、MOCVD、SiC エピタキシー、およびさまざまな高温真空炉に信頼性の高いソリューションを提供しています。
多孔質グラファイトガイドリング

多孔質グラファイトガイドリング

VeTek Semiconductor は、中国の多孔質グラファイト ガイド リングの専門メーカーおよびサプライヤーです。当社は高度で耐久性のある多孔質グラファイトガイドリングを提供するだけでなく、カスタマイズされたサービスもサポートしています。私たちの工場から多孔質グラファイトガイドリングを購入することを歓迎します。
中国の専門的な 特殊グラファイト メーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、高度で耐久性のある中国製の 特殊グラファイト を購入したい場合でも、メッセージを残していただけます。
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