ホットゾーン用のカスタマイズされたグラファイトヒーター

VETEK を選ぶ理由

  ●極めて高い熱均一性: VETEK ヒーターは、正確な構造シミュレーションと設計を経て、最大 2200°C の極端な環境でも優れた温度の一貫性を確保し、ウェーハの歩留まりを効果的に向上させます。

  ●高純度の材料保証: 等方性高純度グラファイトを厳密に選択し、灰分含有量を超低レベルに維持して、ソースからの高温での金属イオン汚染を排除します。

  ●高度なコーティング技術: VETEK の強みを活かして、オプションの SiC (炭化ケイ素) コーティングを提供します。これにより、耐酸化性と耐腐食性が大幅に向上し、過酷な化学ガス環境でもより長い耐用年数が保証されます。

  ●精密なカスタマイズ: 円筒形、スパイラル形、または複雑なディスク構造であっても、VETEK はお客様の技術図面に基づいて高精度の機械加工を提供し、お客様の機器に完璧にフィットすることを保証します。

  ●総合的な物流保護: グラファイトの壊れやすい性質を認識し、VETEK はパッケージング システムをアップグレードしました。当社の多層耐衝撃補強により、国際輸送中の「損傷ゼロ」が保証され、生産遅延の懸念が解消されます。

主要な応用分野

  ●半導体エピタキシー：MOCVD装置のコア熱フィールドコンポーネント（K465iなどの主流モデルと互換性があります）。

  ●SiC結晶成長: 炭化ケイ素およびその他のワイドバンドギャップ半導体材料の成長のための高精度の熱場制御。

  ●高温真空装置：真空焼結炉、精密ろう付け、ハイエンド熱処理装置などに幅広く使用されています。

  ●高度なコーティング用の基材: CVD SiC、SiN、または SiO コーティングに最適な基材です。

技術仕様

また、特定の動作条件に合わせて、より高純度のカスタマイズされた材料もサポートします。

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