炭化物タンタルTACコーティングとは何ですか？ -Veteksemicon

炭化物タンタル（TAC）とは何ですか？

Tantalum Carbide（TAC）セラミック材料の融点は最大3880℃で、融点が高く、化学的安定性が良好な化合物です。高温環境で安定した性能を維持できます。さらに、高温抵抗、化学耐性耐性、および炭素材料との良好な化学的および機械的適合性も備えており、理想的なグラファイト基板保護コーティング材料となっています。 

炭化物コーティンググラファイト成分は、厳しい使用環境における高温アンモニア、水素、シリコン蒸気、および溶融金属の効果から効果的に保護し、グラファイト成分のサービス寿命を大幅に延長し、グラファイトの不純物の移動を抑制し、エピタキシャルそして結晶の成長.

図1。一般的な炭化物コーティング成分

CVDプロセスによるTACコーティングの準備

化学蒸気堆積（CVD）は、グラファイト表面でTACコーティングを生成するための最も成熟した最適な方法です。

TACL5およびプロピレンをそれぞれ炭素およびタンタル源として使用し、アーゴンはキャリアガスとして使用して、高温の蒸発TACL5蒸気を反応チャンバーに導入します。ターゲット温度と圧力では、グラファイトの表面に前駆体材料の蒸気吸着が吸着し、分解や炭素とタンタル源の組み合わせなどの一連の複雑な化学反応、ならびに前駆体の副産物の拡散や脱着などの一連の表面反応を受けます。最後に、グラファイトの表面に密な保護層が形成され、グラファイトを極端な環境条件下で安定した存在から保護し、グラファイト材料のアプリケーションシナリオを大幅に拡張します。

図2。Chemical vapor deposition (CVD) process principle

CVD TACコーティングの準備の原則とプロセスの詳細については、記事を参照してください。CVD TACコーティングを準備する方法は？

なぜVeteksemiconを選ぶのですか？

セミコン主に炭化物を提供する製品：TACガイドリング、TACコーティング3ペタルリング、TACコーティングるつぼ、TACコーティング多孔質グラファイトが広く使用されています。SIC結晶成長プロセス。 TACコーティング、TACコーティングガイドリングを備えた多孔質グラファイト、TACコーティンググラファイトウェーハキャリア、TACコーティング容疑者、惑星受容器、そしてこれらの炭化物コーティング製品は広く使用されていますSICエピタキシープロセスそしてSIC単結晶成長プロセス.

図3。獣医EK半導体の最も人気のある炭化物コーティング製品