静電チャック（ESC）とは何ですか？

静電チャック（ESC、E-Chuck）とも呼ばれる静電チャック（ESC）は、静電吸着の原理を使用して吸着材料を保持および固定する備品です。真空およびプラズマ環境に適しています。その主な機能は、超吸着することです。きれいな薄いシート（シリコンウェーハなど）をきれいにし、吸着した材料を良好な平坦性に保ちます。これにより、プロセス中の吸着材の変形も阻害し、吸着剤の温度を調整できます。

静電チャック（ESC）は、静電力を使用してオブジェクト（ワークピース）を保持、プレス、ピックアップする特別なタイプのチャックです。材料には、肉眼では見えない正と負の電荷が含まれます。材料がESCに配置され、双極電圧がESCの内部電極に適用されると、正と負の電荷は材料内を移動して、ESCの内部電極の極性に一致します。 ESCと材料の間のこの魅力は静電力と呼ばれ、チャックスの背後にある基本原則でもあります。

製品の利点

動作温度範囲が広くなっています（-50〜700）

これらの静電吸引カップは、優れた強度、熱伝導率、熱衝撃耐性を備えており、NGK独自のセラミック体積抵抗率コントロールを介して広い温度範囲に適応できます。

高い腐食抵抗

これらの静電吸引カップは、ハロゲンガスに対して優れた腐食抵抗を持っています。

低粒子処理

低粒子治療は、表面処理と特別なクリーニングを通じて達成できます

高純度

純度が99.9％以上の製品も利用できます。

加熱機能

高精度加熱要素埋め込み技術はヒーター機能と統合でき、ウェーハ温度は±1％以内に制御できます。

冷却機能

これらの静電吸引カップは、熱伝導率と冷却プレートを伴うセラミックプレートを結合することにより、非常に高い冷却性能を持っています。

無線周波数電極

バルク金属電極は、安定したウェーハクランプおよび無線周波数プラズマの生成を同時に提供できます。

Pアラメーター

1.半導体および電子製造の分野では、半導体および電子製造プロセス中に、静電吸引カップを使用して、薄くて脆弱なシリコンウェーハ、ウェーハなどを修正および処理します。その利点は、強力な吸着力、機械的ストレス、単純な動作にあります。

2。ガラスおよびセラミック産業：ガラスおよびセラミックの切断、研削、取り扱いのプロセス中に、静電吸引カップは脆性材料で非破壊的な操作を行い、製品の破損率を低下させることができます。

3.精密機械と光学成分の製造：精密機械および光学成分の場合、静電吸引カップは安定した吸着力を提供し、処理中の変形または傷を防ぎます。

4。自動生産ライン：自動生産ラインでは、電静脈吸引カップは、部品の配置、取り扱い、アセンブリなどで広く使用されており、生産ラインの自動化と効率の程度を高めます。