高純度クォーツボート

高純度クォーツボートは、高温の高洗浄プロセス用に設計された、超高純度クォーツ材料（SIO₂コンテンツ≥99.99％）で作られた精密キャリアです。このデバイスは、アニーリング、拡散、酸化、化学蒸気堆積（CVD）などのプロセスに不可欠であり、半導体、太陽光発電、およびその他のフィールドで広く使用されています。その中心的な利点は、材料自体の物理的および化学的安定性にあります。

ⅰ。ベテクシミコンの優れた物理的特性は、高純度クォーツボートです

ⅱ。高純度クォーツボートの主な用途と対応する製品の利点

1。半導体製造：

具体的な用途： ウェーハの高温拡散、酸化、アニーリング、およびCVD（化学蒸気堆積）プロセスのキャリアツール。

製品の利点：

● 超低汚染：Veteksemiconの99.99％純粋なウェーハボートは、金属イオンの汚染を避け、チップの電気性能を確保します。

● 正確なサイズ：クォーツウェーハボートの平坦性は±0.05 mmで、ウェーハの均一な加熱（12インチウェーハボートなど）が確保されます。

● 長寿命：私たちが記録した実際の生産データによると、私たちが生産する石英ウェーハボートは、1200°Cで1000時間以上継続的に使用でき、置換周波数を大幅に減らします（通常のクォーツボートと比較して、寿命は3倍増加します）。

2。太陽光発電産業

具体的な用途： 太陽光発電産業の製造の分野では、通常、PERC細胞のリン拡散およびトップコン細胞のホウ素拡散プロセスのシリコンウェーハに高純度の石英ボートが使用されます。

パフォーマンスの利点：

● 高負荷設計：私たちが生産する単一のボートは、200〜300のシリコンウェーハ（厚さ160〜180μm）を運ぶことができ、単位時間あたりのウェーハ生産容量を大幅に改善します。

● 急速な温度上昇と下降：超低熱熱膨張係数（0.55×10⁻⁶/°C（20〜1000°C）、ゼロ拡張に近い）は、プロセスサイクルの10％〜15％の減少をサポートします。

● アンチピッド効果：シリコンウェーハの負荷プロセス中にナトリウムイオン降水量は、光誘発性分解のリスクを減らしません。

ⅲ。クォーツボートパッケージの仕様

Veteksemiconクォーツボートは、多層密度の高い包装を使用して、貯蔵および輸送中に製品の完全性を確保します。

同時に、Vetekseminconは、非標準サイズ（エラー±0.1 mm）、多層スタッキング設計（最大5層）、高温耐性フィルムコーティング（SICコーティングなど）などのカスタマイズされた拡張プロセス設計をサポートしています。あなたのさらなる相談を歓迎します。