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半導体製造において、表面処理技術は、高度なコーティングおよび蒸着方法によってコンポーネントの表面特性を変更することにより、コンポーネントの耐久性、性能、信頼性を向上させる上で重要な役割を果たします。
物理蒸着 PVD は、固体材料を蒸発させて基板上に薄膜を蒸着する真空ベースのコーティング プロセスです。表面硬度、耐熱性、導電性を高めるため、半導体工具や精密部品には欠かせません。
この技術では、表面に微粉末を高温でスプレーして、緻密な保護コーティングを作成します。過酷な環境にさらされる重要な半導体コンポーネントの熱、摩耗、腐食に対する耐性が大幅に向上します。
MAX Phase ナノパウダーは、金属特性を備えた層状セラミックであり、高い強度、導電性、耐熱衝撃性を備えています。これらは、保護コーティングや高温安定性が必要な新興半導体用途に最適です。
半導体および精密製造の多様なニーズを満たすために、VeTek は対象を絞った表面処理技術ソリューションを提供します。次の表は、主要なテクノロジーとアプリケーション分野ごとにそれらを分類しています。
| 技術・分野 | 代表的な製品・ソリューション | アプリケーションの説明 |
| 物理蒸着 (PVD) | 工具や精密部品向けのPVD薄膜コーティング | 真空ベースの薄膜の蒸着により、半導体ツールや高精度部品の表面硬度、耐熱性、導電性を向上させます。 |
| 半導体溶射 | 溶射コーティング、MLCC焼結るつぼコーティング | 粉末を高温でスプレーして、耐熱性、耐摩耗性、耐食性を備えた緻密な保護コーティングを形成します。半導体部品やMLCC材料の焼結るつぼに広く使用されています。 |
| MAXフェーズマテリアル | MAX Phase ナノパウダー | 保護コーティングや高強度、導電性、耐熱衝撃性を必要とする新興半導体用途向けの金属特性を備えた層状セラミック。 |
| CMP / 平坦化 | CMP研磨剤 | 半導体製造や精密材料加工において、ナノレベルの表面平坦性と品質を実現する化学機械研磨材です。 |
| コンポーネントの保護と寿命 | PVD および溶射保護コーティング | 重要な半導体装置部品の表面改質により、耐久性を向上させ、摩耗を軽減し、過酷なプロセス環境での耐用年数を延長します。 |
関連するコーティングおよび材料ソリューションの詳細については、「炭化タンタルコーティングそして炭化ケイ素コーティングページ。
中国の表面処理技術の専門メーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、中国製の高度で耐久性のある表面処理技術を購入したい場合でも、メッセージを残してください.