私たちについて

技術専門家

Dr. Feng

フェン博士

CVDコーティング技術エキスパート

高度なCVDコーティング技術に特化し、プロセス開発と産業応用に強力な能力を発揮

経験

Veteksemicon で 6 年以上

専門知識
CVD SiC コーティング CVD TaC コーティング
コア製品の開発
CVD TaC コーティングサセプタ
VEECO LED EPI サセプタ
SiC コーティングされたグラファイトバレルサセプター
TaC コーティングを施した MOCVD サセプタ
Dr. Li

リー博士

炭化ケイ素セラミックススペシャリスト

半導体製造用炭化ケイ素セラミック部品の研究開発に注力

経験

Veteksemicon で 8 年以上

専門知識
SiCセラミック材料 半導体部品
主流のSiC製品開発
SiCカンチレバーパドル
SiCウエハーボート
垂直コラムウェーハボート&ペデスタル
Dr. Zhou

周博士

半導体特殊グラファイトエキスパート

半導体用途向けの特殊グラファイト材料に関する深い専門知識を持っています

経験

Veteksemicon で 7 年以上

専門知識
半導体グラファイト材料
研究重点分野
多孔質黒鉛
等方性黒鉛
シリコン化グラファイト
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