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太陽電池の製造における石英装置

太陽電池の生産ラインには、一見目立たないが重要なコンポーネント、つまり高純度の石英製品の一種があります。彼らは光電気変換に直接関与していませんが、忠実な警備員のように、各シリコンウェーハが高温、腐食性ガス、複雑なプロセスで安全に「成長」することを保証します。現代の太陽光発電産業の効率的な運用をサポートするのは、これらの透明な石英デバイスです。


ⅰ。 Quartz:太陽エネルギー製造における「黄金の支持的役割」


太陽電池のコア材料はシリコンであり、シリコンの処理は高温および化学処理とは分離できません。通常の材料はこのような極端な環境に耐えることはほとんどありませんが、クォーツ(主に二酸化シリコンで構成されている)は、その3つの主要な特性のために完全にそれを行うことができます。


a)高温抵抗:石英の融点は1700以上の高さですが、太陽電池の拡散プロセスとアニーリングプロセスは通常、800-1200℃で実行されます。クォーツデバイスは高温で安定したままです。

b)高純度:太陽級の石英の純度は99.99%を超えているため、シリコンウェーハを汚染してバッテリー効率に影響を与えることができません。

c)化学的不活性:石英は、酸、アルカリ、およびほとんどのガスとほとんど反応しず、腐食性の高いプロセスガス(塩素やフッ化水素など)でも長時間使用できます。


これらの特性により、石英は太陽電池の製造におけるかけがえのない材料になります。シリコンウェーハのサポートからプロセスガスの送達まで、クォーツデバイスは生産プロセス全体を実行します。


ⅱ。太陽電池生産ラインのクォーツ「チーム」


太陽光発電工場では、Quartz製品には、各プロセスの正確な実行を確保するために異なる形式と機能があります。以下は、太陽電池用のいくつかの重要な石英製品です。


1. マザーボートキャリア


関数:洗浄、拡散、その他のプロセス中に多数のシリコンウェーハを運ぶシリコンウェーハの「トランスポーター」。

特徴:精密に設計された溝は、高温での接着を避けるために、シリコンウェーハ間の一貫した間隔を確保します。


Mother Quartz Boat Carrier


2。クォーツボート


関数:拡散炉、PECVD(プラズマ強化化学蒸気堆積)およびその他の機器で使用して、高温処理のためにシリコンウェーハを運ぶ。

進化:初期のクォーツボートは単純なフラットプレートデザインでしたが、ガスの流れの均一性を改善するために、波状の形やバッフルなどの最適化された構造を開発しました。


Quartz Boat


3. 長いボート


適応傾向:シリコンウェーハのサイズが増加すると(182mmおよび210mmの大きなシリコンウェーハなど)、長いボートの長さも高くなるように増加します。


Long Quartz Boat


4。クォーツボトル


関数:シリコンソースガス(SIH₄)、ドーパント(Pocl₃)など、高純度の液体または気体化学物質の貯蔵と輸送。

主要な要件:ガスの漏れや外部汚染を防ぐための超高シーリング。


Quartz Bottle


5. クォーツ炉チューブ


コアコンポーネント:シリコンウェーハが高温ドーピングまたはアニーリングを受ける拡散炉とアニーリング炉の「心臓」。

チャレンジ:長期的な高温では、石英炉チューブが削除され、強度が低下する可能性があるため、寿命を延ばすために特別な治療が必要です。


Quartz Furnace Tube


6。チューブ溶接


処理の問題:クォーツ溶接では、溶接に泡や亀裂がないことを確認するために、水素酸素炎またはレーザー溶接技術が必要です。そうしないと、高温および低温サイクル中に壊れる可能性があります。


Tube Welding


7。クォーツシース


保護機能:熱電対またはセンサーを包み、腐食性ガス環境で長時間安定して動作できるようにします。


Quartz Sheaths


8。キャップで


シーリングと断熱:熱損失を防ぎ、外気が高温反応領域に入るのを隔離します。


Quartz Door Cap


ⅲ。 Quartzデバイスの課題と未来


Quartzは太陽光発電の製造において重要な位置を占めていますが、いくつかの課題にも直面しています。


寿命の問題:長期的な高温では、クォーツは徐々に結晶化し、強度が低下し、通常300〜500の使用後に交換する必要があります。

コスト圧力:高純度の石英砂のリソースは限られており、近年価格は大幅に変動し、業界はクォーツ製品または寿命が長い代替品を開発するよう促しています。

大規模な適応:シリコンウェーハのサイズが大きくなるにつれて、クォーツボート、炉チューブ、その他のデバイスもそれに応じてアップグレードする必要があり、製造プロセスにより高い要件があります。


将来、石英デバイスは、高効率の太陽電池の製造ニーズをよりよく満たすために、複合材(炭化石炭シリコン複合材料など)およびインテリジェント(リアルタイムでステータスを監視する統合センサー)の方向に発達する可能性があります。


Semiconductor quartz hot-processing zone


ⅳ。結論


クォーツデバイスは発電に直接関与していませんが、太陽電池製造の「舞台裏のヒーロー」です。シリコンウェーファーを運ぶクォーツボートからクォーツ炉チューブプロセスを保護し、各太陽電池の効率的で安定した生産を保証します。太陽光発電技術の進歩により、クォーツ製品も絶えず進化しており、クリーンエネルギーの未来を守り続けています。


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