高純度石英拡散チューブ

Veteksemiconの高純度石英拡散チューブには、高純度、高耐熱性、高耐食性、低膨張係数の特性があります。これらの特性により、石英拡散チューブは、変形や損傷のない半導体ウェーハの酸化アニーリングプロセスの環境に耐えることができます。

Vetek半導体の高純度石英チューブの純度は99.998％を超えており、ウェーハ調製プロセス中にウェーハの汚染がないことを保証します。

半導体酸化拡散プロセスにおける石英拡散チューブの適用

石英拡散チューブの優れた熱性能は、酸化プロセスで非常に重要です。拡散チューブは、熱酸化とアニーリング中に最大1250°Cまでの温度に耐えることができ、滑らかなウェーハ処理を確保します。さらに、拡散のための高純度石英チューブの断熱特性と高い熱抵抗により、最終的にはウェーハ価格処理の一貫性が確保されます。

Veteksemiconの高純度石英拡散チューブは、ウェーハの加工に最適です

酸化に加えて、アニーリングは半導体ウェーハ製造におけるもう1つの重要なプロセスです。 Veteksemiconの高純度石英チューブは、アニーリングプロセスに必要な熱安定性を提供し、ウェーハを均等にアニールできるようにします。同時に、高純度石英拡散チューブの優れた熱衝撃耐性により、ウエハーのアニーリングプロセス中の急速な加熱と冷却サイクルの安定性が保証され、アニーリングプロセスにおける生命と信頼性が保証されます。

上記の利点に加えて、Vetek High Purity Quartz拡散チューブは、UV透明度も高いです。これは、UV光を介してウェーハ処理プロセスを監視および検査するために使用でき、最終的な半導体デバイスの信頼性を向上させることができます。

異なる半導体プロセスの実際の要件は異なります。これらの多様なニーズを満たすために、私たちは常に、エンドユーザーの使用シナリオ要件を満たすために、拡散製品用の高度にカスタマイズされた高純度石英チューブを顧客に提供することに取り組んでいます。顧客のカスタマイズサービスには、高純度石英拡散チューブ自体、さまざまなフランジ、その他の構成のさまざまな構造が含まれます。 

小規模なR＆Dであろうと大量生産であろうと、私たちは有能です。あなたのお問い合わせを楽しみにし、あなたとの長期的なパートナーシップを確立してください。