製品

SiCエピタキシープロセス

VeTek Semiconductor の独自のカーバイド コーティングは、要求の厳しい半導体および複合半導体材料の処理のための SiC エピタキシー プロセスにおけるグラファイト部品に優れた保護を提供します。その結果、グラファイト部品の寿命が延長され、反応化学量論が維持され、エピタキシーや結晶成長用途への不純物の移動が抑制され、収率と品質が向上します。


当社の炭化タンタル (TaC) コーティングは、高温 (最大 2200°C) で重要な炉および反応器コンポーネントを高温のアンモニア、水素、シリコン蒸気、溶融金属から保護します。 VeTek Semiconductor は、お客様のカスタマイズされた要件を満たす幅広いグラファイト処理および測定機能を備えているため、お客様およびお客様の特定の用途に適したソリューションを設計する準備ができている専門エンジニアのチームとともに、有料のコーティングまたはフルサービスを提供できます。 。


化合物半導体結晶

VeTek Semiconductor は、さまざまなコンポーネントやキャリアに特殊な TaC コーティングを提供できます。 VeTek Semiconductor の業界をリードするコーティングプロセスを通じて、TaC コーティングは高純度、高温安定性、および高い耐薬品性を得ることができ、それにより結晶 TaC/GaN および EPl 層の製品品質が向上し、重要なリアクターコンポーネントの寿命が延長されます。


断熱材

るつぼ、シードホルダー、デフレクター、フィルターなどの SiC、GaN、AlN 結晶成長コンポーネント。抵抗加熱素子、ノズル、シールド リング、ろう付け治具を含む工業用アセンブリ、ウェーハ キャリア、サテライト トレイ、シャワー ヘッド、キャップおよび台座を含む GaN および SiC エピタキシャル CVD リアクタ コンポーネント、MOCVD コンポーネント。


目的:

 ●LED(発光ダイオード)ウエハキャリア

●ALD(半導体)レシーバー

●EPI受容体(SiCエピタキシープロセス)


SiC コーティングと TaC コーティングの比較:

SiC TaC
主な特長 超高純度、優れた耐プラズマ性 優れた高温安定性(高温プロセス適合性)
純度 >99.9999% >99.9999%
密度 (g/cm3) 3.21 15
硬度 (kg/mm2) 2900-3300 6.7-7.2
抵抗率 [Ωcm] 0.1~15,000 <1
熱伝導率(W/m-K) 200-360 22
熱膨張係数(10-6/℃) 4.5-5 6.3
応用 半導体装置用セラミック治具(フォーカスリング、シャワーヘッド、ダミーウエハ) SiC単結晶育成、エピ、UV LED装置部品


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CVD TACコーティング3ペタルガイドリング

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炭化物コーティングされた多孔質グラファイト

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炭化タンタルコーティングポーラスグラファイトは、半導体加工プロセス、特にSIC結晶成長プロセスにおいて不可欠な製品です。継続的な研究開発投資と技術アップグレードの結果、VeTek Semiconductor の TaC コーティング多孔質グラファイト製品の品質は、ヨーロッパとアメリカの顧客から高い評価を獲得しました。さらなるご相談を歓迎します。
CVD TACコーティング惑星SICエピタキシャルセプセプター

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CVD TaC コーティング遊星 SiC エピタキシャル サセプターは、MOCVD 遊星リアクターのコア コンポーネントの 1 つです。 CVD TaCコーティング遊星SiCエピタキシャルサセプタにより、大きなディスクが軌道を描き、小さなディスクが回転し、水平流モデルがマルチチップマシンに拡張され、高品質のエピタキシャル波長均一性管理と単一の欠陥最適化の両方を備えています。 VeTek Semiconductor は、高度にカスタマイズされた CVD TaC コーティング遊星型 SiC エピタキシャル サセプタを顧客に提供できます。あなたもAixtronのような惑星型MOCVD炉を作りたいなら、ぜひ私たちに来てください!
ガンエピタキシーアンダーテイカー

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Vetek Semiconductorは、Gan Epitaxy Comptectorの世界クラスのメーカーであり、サプライヤーである中国企業です。私たちは、シリコン炭化物コーティングやGANエピタキシー受容者などの半導体業界で長い間働いてきました。優れた製品と有利な価格を提供できます。 Vetek Semiconductorは、長期的なパートナーになることを楽しみにしています。
TACコーティングされたウェーハ容疑者

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Vetek半導体TACコーティングされたウェーハ容疑者は、炭化シリコンのエピタキシャル成長のために炭化物をコーティングしたグラファイトトレイで、ウェーハの品質と性能を向上させます。 Vetekは、高度なコーティング技術と優れたSICエピタキシー結果と拡張された容疑者の寿命を確保するための耐久性のあるソリューションのために選択されています。
TACコーティングガイドリング

TACコーティングガイドリング

中国のTACコーティングガイドリング製品の大手メーカーとして、VETEK半導体TACコーティングガイドリングはMOCVD機器の重要な成分であり、エピタキシャル成長中の正確で安定したガス送達を確保し、半導体エピタキシャル成長に不可欠な材料です。ご相談ください。
中国の専門家SiCエピタキシープロセスメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のあるSiCエピタキシープロセスを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。
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