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のデクハックの原則静電チャック電子力の除去とウェーハ放出メカニズムを含むワークフローの重要な部分です。以下は詳細な分析です。
DeChuckのコアは、ウェーハに吸着された静電力を排除または中和することです。特定の方法には以下が含まれます。
youdaoplaceholder0はパワーを遮断しました
電極に直接電流電圧を適用するのを止めて、電界を徐々に排除します。
youdaoplaceholder0逆電圧またはガス噴射
一部のシステムでは、逆電圧を適用するか、不活性ガス(HE、n₂など)を導入して、電荷の中和または物理的分離を加速します。
ESC生産の専門的な手法を比較し、まず会社がそのような規模に達することができるかどうかを見てみましょう。
CAE分析テクノロジー、プレート機能材料、電極設計、分析技術、冷却チャネル技術、ヒーター設計技術、半導体機器のシニア担当者。
日本企業と韓国企業は、そのような関連する人員を完全に配置する必要があります。そうでない場合は、会社のテクノロジーについて話す必要はありません。
チャックテクノロジー、電極、ディスク、さらには彼の流れの原理さえも明らかにされていません。粗い静電吸引カップを作りましょう。そのような企業は直接渡されます。それらは基本的に投資家のお金を抑えるために使用されます。これは、方法の基本レベルです。また、投資家は、カードゲームでプレーする会社をあきらめ、エッチングのエッチングで10年以上の経験を持つ従業員がいない必要があります。これは実用的なことを行う会社ではないからです。
業界での粉末発射に関しては、誰もが同じ分野にいます。それぞれに独自の式があります。焼結セラミック表面を装備する強度がないものはどれですか?投資家は、基本的な論理が同じであるため、これらの構成や完全に把握していない企業を渡すこともできます。彼らは、製品を開発するのではなく、お金を稼ぐことを目指しています。
修理に関しては、多くの国内企業には、L1からL3に対応する機能を備えている必要があります。機能が少し欠けている場合でも、L1はそれを処理できます。 L3以上の場合、修理できないか、下請けをすることができます。いずれにせよ、修理する方法はまだあります。
L1表面修復、表面粗さの改善/平坦性の改善/バンプ再生。
L2修復:関節層の修復、金属ベースの再溶接およびセラミックディスク/ジョイント層の再入力。
L3修理セラミックディスクの交換、セラミックディスクの製造/金属ベースおよびセラミックディスクのリボンディング。
Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co.、Ltd
同社は、コアテクノロジーとしての静電チャックに基づいて、国内の静電チャックと機器の設計と生産において主要な地位を保持しています。現在、Haituo Innovationは静電吸引カップの商業的生産を達成し、4インチから12インチの半導体ファブの静電チャックの配信を完了しています。
Beijing Huazhuo Jingke Technology Co.、Ltd
会社によって独立して開発された静電吸引カップは、関連する基準と処理に準拠しています半導体産業の要件。初期段階で開発された12インチのPVD窒化アルミニウム静電吸引カップは、ある程度、この製品分野での外国メーカーの長期独占を破っています。現在、Huazhuo Jingkeは、静電吸引カップの関連技術を製品の製造に適用し、小規模な大量生産を達成しています。また、顧客にカスタマイズされた製品を提供することもできます。
2016年に設立され、半導体業界向けの高度なコーティング材料の大手プロバイダーです。中国科学アカデミーの材料研究所の元専門家である私たちの創設者は、業界向けの最先端のソリューションの開発に重点を置いて会社を設立しました。
主な製品には、CVD炭化シリコン(SIC)コーティング、炭化物タンタルム(TAC)コーティング、バルクSIC、SICパウダー、および高純度SIC材料が含まれます。主な製品は、SICコーティンググラファイト容疑者、予熱リング、TACコーティングされた迂回リング、ハーフムーンパーツなどです。純度は5ppm以下で、顧客の要件を満たすことができます。
Zhijiang Xinna Materials Technology Co.、Ltd
ITによって開発された静電吸引カップ製品には、チップ製造企業の需要を満たすことができるパフォーマンス指標があります。制御可能な温度、均一な吸着力、吸着中の傷やしわはない、ウェーハに対するエッジ除外効果などの優れた特性を備えています。彼らは、Yangtze Memory Technologies、Silan Microelectronics、North China Innovationなどの国内の半導体産業企業によって認定されており、販売を達成しています。この製品分野での外国メーカーの独占を破りました。
Hebei Zhongci Electronic Technology Co.、Ltd
2022年、同社は精密セラミックコンポーネントの分野で戦略的な動きを行い、暖房プレートや静電チャックなどの高度に技術的な精度部品のローカリゼーションを達成しました。 Zhongci Electronicsによって開発されたセラミック暖房プレートのコアテクニカルインジケーターは、同様の国際製品のレベルに達し、ユーザーによって検証されています。それらは、国内の主要な半導体機器のバッチに適用されています。セラミック加熱板はまとめて供給されており、サンプルテストのために静電チャックが送信されています。
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