TaC コーティングされたグラファイト ウェーハ キャリア

VeTek Semiconductor のカスタマイズされた TaC コーティング グラファイト ウェーハ キャリアを安心して購入できます。ご協力をお待ちしております。詳しく知りたい場合は、今すぐご相談ください。すぐにご返信いたします。

Vetek半導体TACコーティンググラファイトウェーハキャリアは、エピタキシー反応器のウェーハと直接相互作用し、効率とパフォーマンスを向上させます。炭化シリコンまたは炭化物コーティングのオプションにより、vetek半導体TACコーティンググラファイトウェーハキャリアは、炭化物のタンタルで最大2〜3倍長く延長された寿命を提供します。 LPE SICエピタキシー炉、JSG、NASOエピタキシャル炉など、さまざまな機械モデルと互換性があります。

VeTek Semiconductor TaC コーティングされたグラファイト キャリアは、正確な反応化学量論を保証し、不純物の移行を防止し、2000°C を超えても温度安定性を維持します。 H2、NH3、SiH4、Si に対して優れた耐性を示し、過酷な化学環境から保護します。熱衝撃に耐えるため、コーティングの剥離を生じることなく、高速な動作サイクルが可能になります。

Vetek半導体TACコーティングは、超高純度を保証し、不純物を排除し、厳しい寸法許容範囲を満たす適切なカバレッジを保証します。 Vetek Semiconductorの高度なグラファイト処理機能により、カスタマイズのニーズを満たすために装備されています。コーティングサービスや包括的なソリューションが必要かどうかにかかわらず、当社の専門家エンジニアチームは、特定のアプリケーションに最適なソリューションを設計する準備ができています。お客様の要件と期待に合わせて調整された高品質の製品を提供するために私たちを信頼してください。

PVT法SiC結晶成長：

TaCコーティンググラファイトウェーハキャリアの製品パラメータ

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