なぜSICコーティングがそんなに注目されるのですか？ -Vetek半導体

近年、エレクトロニクス業界の継続的な開発により、第3世代半導体材料は半導体産業の発展の新たな原動力となっています。 SiCは第3世代半導体材料の代表格として、特に半導体製造分野で広く使用されています。熱場優れた物理的および化学的特性による材料。

それでは、SICコーティングとは正確には何ですか？そして何がCVD SiCコーティング?

SiCは共有結合した化合物で、硬度が高く、熱伝導性に優れ、熱膨張係数が低く、耐食性にも優れています。熱伝導率は120～170W/m・Kに達し、電子部品の放熱において優れた熱伝導性を示します。また、炭化ケイ素の熱膨張係数はわずか4.0×10-6/K（300～800℃の範囲）であり、高温環境下でも寸法安定性を維持でき、熱による変形や破損が大幅に減少します。ストレス。炭化ケイ素コーティングとは、物理的または化学的蒸着、スプレーなどにより部品の表面に形成された炭化ケイ素からなるコーティングを指します。  

化学蒸着 (CVD)現在、基質表面でSICコーティングを準備するための主要な技術です。主なプロセスは、気相反応物が基質表面に一連の物理的および化学反応を受けることです。最後に、CVD SICコーティングが基質表面に堆積されることです。

CVD SICコーティングのSEMデータ

シリコン炭化物コーティングは非常に強力であるため、どの半導体製造のリンクが大きな役割を果たしましたか？答えは、エピタキシーの生産アクセサリーです。

SICコーティングには、材料特性の観点からエピタキシャル成長プロセスを高く一致させるという重要な利点があります。以下は、SICコーティングの重要な役割と理由ですSICコーティングエピタキシャル受容器:

1. 高い熱伝導率と高温耐性

エピタキシャル成長環境の温度は、1000°を超えることができます。 SICコーティングは非常に高い熱伝導率であり、熱を効果的に放散し、エピタキシャル成長の温度均一性を確保できます。

2。化学物質の安定性

SiC コーティングは優れた化学的不活性性を備えており、腐食性ガスや化学薬品による腐食に耐えることができるため、エピタキシャル成長中に反応物と悪反応せず、材料表面の完全性と清浄度を維持します。

3. 格子定数のマッチング

エピタキシャル成長では、SiC コーティングはその結晶構造によりさまざまなエピタキシャル材料とよく適合し、格子不整合を大幅に低減できるため、結晶欠陥が減少し、エピタキシャル層の品質と性能が向上します。

4. 低い熱膨張係数

SiC コーティングの熱膨張係数は低く、一般的なエピタキシャル材料の熱膨張係数に比較的近いです。これにより、高温時に基材とSiCコーティングの間に熱膨張係数の違いによる大きな応力が発生せず、材料の剥離、クラック、変形などの問題が発生しません。

5. 高い硬度と耐摩耗性

SICコーティングは非常に高い硬度があるため、エピタキシャルベースの表面にコーティングすると、耐摩耗性が大幅に改善され、サービス寿命が延長されますが、エピタキシャルプロセス中にベースのジオメトリと表面の平坦性が損傷しないようにします。

SiCコーティングの断面および表面画像

エピタキシャル生産の付属品であることに加えて、SiC コーティングにはこれらの分野でも大きな利点があります:

半導体ウェーハキャリア：半導体処理中のウェーハの取り扱いと処理には、非常に高い清浄度と精度が必要です。 SiC コーティングは、ウェーハキャリア、ブラケット、トレイによく使用されます。

ウェーハキャリア

予熱リング：予熱リングは、Siエピタキシャル基質トレイの外側のリングにあり、キャリブレーションと加熱に使用されます。それは反応室に配置され、ウェーハに直接接触しません。

  予熱リング

上部の半月部分は、反応チャンバーの他の付属品のキャリアです。SiCエピタキシー装置、ウェーハと直接接触することなく、温度制御および反応チャンバーに設置されています。下半月部は、ベース回転を駆動するガスを導入する石英チューブに接続されています。温度が制御され、反応チャンバーに設置されており、ウェーハと直接接触しません。

上半月部分

さらに、半導体産業、高出力電子チューブゲート、電圧レギュレーターに接触するブラシ、X線および中性子用のグラファイトモノクロメーター、グラファイト基板のさまざまな形状、およびグラファイト基板のさまざまな形状に接触するブラシの融解るつぼがあります。 原子吸収チューブコーティングなど、SICコーティングはますます重要な役割を果たしています。

なぜ選ぶのかヴェテック・セミコンダクター?

ヴェテック・セミコンダクター の製造プロセスでは、精密エンジニアリングと先進的な材料を組み合わせて、次のような優れた性能と耐久性を備えた SiC コーティング製品を生産しています。SiCコーティングウェーハホルダー、SiCコーティングエピレシーバー、UV LEDエピレシーバー, 炭化シリコンセラミックコーティングそしてSiCコーティングALDサセプタ。半導体業界と他の業界の特定のニーズを満たすことができ、高品質のカスタムSICコーティングを顧客に提供します。

ご質問がある場合、または詳細が必要な場合は、お気軽にお問い合わせください。

Mob/WhatsApp： +86-180 6922 0752

メール：anny@veteksemi.com