高純度クォーツるつぼ

Veteksemiconプラットフォームが提供する高純度の四分位数るつぼは、超高純度合成融合石英で作られています。選択したクォーツ原材料のSIO2含有量は、通常99.998％以下に達する可能性があります（4N8）。高度な融解と成形プロセスを通じて、不純物の含有量は、特に金属イオン（Na、K、Li、Fe、Al、Caなど）および半導体プロセスに有害なヒドロキシル含有量を最小限に抑えます。

このQuartzるつぼは、高温環境での動作用に設計されており、クリスタルの成長とウェーハ処理との低い汚染、高強度、良好な互換性を確保しています。

ⅰ。半導体製造プロセスにおける主要なアプリケーション

高純度の石英るつぼは、独自の物理的特性を備えた多くの主要な半導体製造プロセスで重要な役割を果たします。

1。単結晶シリコンの成長（Czochralskiプロセス-CZ）

使用：Czochralski法による単結晶シリコンの成長の過程で、高純度の石英るつぼは溶融シリコンの主要な容器です。シリコンロッドの品質と純度は、るつぼ材料の影響を直接受けます。

優れた物理的特性:

●超高純度：高純度の石英材料で作られているため、非常に低い不純物の沈殿を保証し、高度に統合された高性能半導体デバイスの製造に不可欠な単結晶シリコンの汚染を回避します。アルカリ金属や重金属などの不純物は、キャリアトラップまたは散乱センターになり、デバイスの電気特性に深刻な影響を及ぼします。

●優れた高温抵抗：クォーツ材料は、融点が高く（約1700℃）、溶融シリコンの極端な温度（約1420℃）に耐え、変形や軟化なしに長時間安定して働くことができます。

●良好な熱安定性：高温では、熱膨張係数が非常に低く、熱応力に効果的に抵抗し、加熱と冷却中の亀裂を避けることができ、それによりプロセスの安定性と安全性が確保されます。

●化学的不活性：溶融シリコンに対して良好な化学的不活性性を持ち、シリコンと反応するのは容易ではなく、シリコンの不純物の導入を減らし、シリコン結晶の純度を保証します。

2。ポリクリスタリンシリコンインゴット鋳造

応用：多結晶シリコンインゴット鋳造プロセスでは、高純度のクォーツ十字架を溶融多結晶シリコンの容器として使用して、太陽光発電または電子グレードの多結晶シリコンインゴットを鋳造します。

優れた物理的特性:

●熱衝撃耐性：急速な暖房や冷却サイクルでも構造の完全性を維持し、突然の温度変化に起因する亀裂を避けることができます。

●寸法の安定性：正確な寸法制御と形状の安定性は、仕様要件を満たす多結晶シリコンインゴットをキャストするために不可欠です。

3。その他の高温アプリケーション

用途：半導体製造では、拡散、酸化、アニーリングなどの多くの高温炉チューブプロセスが、Quartzコンテナをライティングまたはキャリアとして使用して、プロセス環境を清潔で安定させます。

ⅱ。 Veteksemiconの高純度Quartz Crucibleの利点

Veteksemiconは、半導体業界に高品質で高性能製品の提供に取り組んでいます。私たちの高純度のクォーツ十字架には、次の利点があります。

● 超高純度保証：原材料と生産プロセスの厳密な制御は、製品が半導体グレードの超高純度に到達し、プロセス汚染のリスクを最小限に抑えることを保証します。

● 優れた耐久性：優れた熱安定性と機械的強度、製品の寿命を延ばし、生産コストを削減します。

● カスタマイズされたサービス：特定のプロセスのニーズに応じて、さまざまなサイズ、形状、仕様のカスタマイズされたるつぼソリューションを提供できます。

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