炭化ケイ素セラミックス

VeTek Semiconductor は、半導体処理分野における革新的なパートナーです。半導体グレードの炭化ケイ素セラミック材料の組み合わせ、コンポーネント製造能力、アプリケーション エンジニアリング サービスの広範なポートフォリオにより、当社はお客様が重大な課題を克服できるよう支援します。エンジニアリング技術 炭化ケイ素セラミックスは、その優れた材料性能により、半導体業界で広く応用されています。 VeTek Semiconductor の超高純度炭化ケイ素セラミックは、半導体の製造と処理のサイクル全体を通じて頻繁に使用されます。

拡散およびLPCVD処理

VeTek Semiconductor は、バッチ拡散および LPCVD 要件に合わせて特別に設計された、次のようなエンジニアリング セラミック コンポーネントを提供します。

• バッフルとホルダー
• インジェクター
• ライナーとプロセスチューブ
• 炭化ケイ素カンチレバーパドル
• ウェーハボートと台座

SiCカンチレバーパドル SiCプロセスチューブ 炭化ケイ素プロセスチューブ SiC縦型ウェーハボート SiC横型ウェーハボート SiC横型スクエアウエハーボート SiC LPCVDウエハボート SiC横板ボート SiCセラミックシールリング

エッチングプロセスコンポーネント

厳格なプラズマ エッチング処理に合わせて設計された次のような高純度コンポーネントにより、汚染と予定外のメンテナンスを最小限に抑えます。

急速熱処理およびエピタキシャル処理コンポーネント

VeTek Semiconductor は、半導体業界の高温熱処理用途に合わせた高度な材料コンポーネントを提供します。これらのアプリケーションには、RTP、Epi プロセス、拡散、酸化、アニーリングが含まれます。当社のテクニカル セラミックは熱衝撃に耐えるように設計されており、信頼性の高い一貫したパフォーマンスを提供します。 VeTek Semiconductor のコンポーネントを使用することで、半導体メーカーは効率的かつ高品質の熱処理を実現でき、半導体製造の全体的な成功に貢献します。