ウェーハ処理用炭化ケイ素カンチレバーパドル

一般的な製品情報

製品取引条件

応用： 私のライバル SiC パドルは、高度な半導体製造における重要なコンポーネントであり、SiC パワーデバイスのエピタキシー、高温アニーリング、シリコンベースのチップのゲート酸化などのコアプロセス向けに設計されています。

提供できるサービス： 顧客アプリケーションのシナリオ分析、材料のマッチング、技術的な問題解決。

会社概要：私のライバル には 2 つの研究所があり、20 年の材料経験を持つ専門家チームがあり、研究開発、生産、テスト、検証の機能を備えています。

技術的パラメータ

Veteksemi SiC パドルの主な利点

 ● 究極の純度でチップ歩留まりを保護

当社は高度なプロセスを使用して炭化ケイ素原料を製造し、金属不純物を最小限に抑えます。 Veteksemi SiC パドルは、高温環境下で長期間にわたって不純物の析出を効果的に抑制し、敏感なウェーハの汚染を防ぎ、ソースからの高歩留まりの生産を保証します。

●過酷な要求に応える優れた耐熱性

炭化ケイ素自体は、ほとんどのセラミック材料を上回る高温耐性特性を備えています。当社のパドルは、最大 1600°C のプロセス温度に容易に対応でき、熱膨張係数が極めて低く、急速加熱と冷却の繰り返しサイクル中に優れた耐熱衝撃性を示し、変形や亀裂のリスクを最小限に抑え、耐用年数を延ばします。

●安定した伝動を実現する優れた機械的強度

非常に高い剛性と硬度を備えており、ウェーハを満載した状態でも優れた形態安定性を維持します。これにより、自動搬送中のウェーハの正確な位置合わせが保証され、炉へのウェーハの出入りがスムーズになり、振動やずれによる破損のリスクが軽減されます。

●耐食性に優れ、長寿命です。

VetekSemicon SiC パドルは、酸化や拡散プロセスでよく見られる酸素や水素などの腐食性雰囲気の存在下で強い化学的不活性性を示し、表面浸食率が極めて低くなります。これにより、長期使用にわたって安定した寸法とパフォーマンスが保証され、全体的な所有コストが大幅に削減されます。

主な応用分野

エコロジカルチェーン検証の承認

私のライバル SiC パドルのエコロジカル チェーン検証は、原材料から製造までをカバーしており、国際規格認証に合格しており、半導体および新エネルギー分野での信頼性と持続可能性を確保するための多数の特許取得済み技術を備えています。

詳細な技術仕様、ホワイト ペーパー、またはサンプル テストの手配については、当社のテクニカル サポート チームにお問い合わせいただき、Veteksemicon がどのようにプロセス効率を向上できるかを検討してください。