TaC コーティングはグラファイト部品の耐用年数をどのように改善しますか? - ヴェテック・セミコンダクター

CVDタンタルカーバイドコーティングVETEK半導体の独自の化学蒸気堆積（CVD）プロセスを使用した高純度グラファイト基板の表面上の炭化物（TAC）の蒸気沈着によって生成されます。

炭化タンタル (TaC) コーティングにより、製品の耐用年数が大幅に向上します。グラファイト部品特に高温で、半導体製造や結晶の成長などの非常に腐食性の高い環境での複数のメカニズムを通じて。 

具体的な理由は次のとおりですTaCコーティンググラファイト部品の耐久性を高める：

● 高温耐性の向上

非常に高い熱安定性：TACコーティングは、2000°Cを超える極端に高温で安定したままであり、2200Cで効果的に機能することさえできます。この高温耐性により、コーティングは半導体製造中の溶融金属と化学ガスの侵食に耐えることができ、それによりグラファイト部品のサービス寿命を延ばすことができます。

●優れた腐食抵抗

耐化学浸食性: TaC コーティングは、水素、アンモニア、シリコン蒸気などの腐食性ガスに対して強い耐性を備えており、これらのガスによるグラファイト基板の腐食を効果的に防止し、過酷な環境下でグラファイト部品が損傷するリスクを軽減します。これは、結晶成長プロセス中にコーティングが不純物の移動を抑制し、結晶の品質と収率を向上させることができることを意味します。

● 機械的特性の向上

優れた接着力と耐熱衝撃性: TaC コーティングはグラファイト基材への強力な接着力を備えており、高温操作中にコーティングが剥がれたり剥離したりしません。さらに、優れた耐熱衝撃性により、急激な温度変化にも亀裂や剥離を起こすことなく耐えることができ、グラファイト部品の寿命をさらに延長します。

●不純物の汚染を減らします

超高純度: TaC コーティングは不純物含有量が極めて低いため、高温条件下で発生する可能性のある汚染の問題を軽減します。 TaC コーティングは、不要な不純物がエピタキシャル層に移動するのを防ぐことで、結晶成長プロセスの純度と品質を大幅に向上させます。

● 熱管理を最適化する

熱伝導率と抵抗率の向上：TACコーティングは、熱伝導率と抵抗率が比較的低いため、ヒーターやその他の熱管理コンポーネントでの適用がエネルギー効率を向上させ、エネルギー損失を減らします。この機能は、動作効率を改善するだけでなく、過熱によって引き起こされる物質的な疲労と損傷を軽減します。