TACコーティング台座サポートプレート

Vetek Semiconductorは、主にCVD TACコーティング受容剤、インレットリング、ウェーハチュンク、TACコーティングホルダー、TACコーティング台座サポートプレートを長年の経験で生産する中国のメーカーおよびサプライヤーです。あなたとのビジネス関係を築きたいと思っています。

TACセラミックの融点は、最大3880の融点、高硬度（MOHS硬度9〜10）、大きな熱伝導率（22W・mの融点があります。^-1・k^-1）、大きな曲げ強度（340〜400mpa）、および小さな熱膨張係数（6.6×10^-6K^-1）、そして優れた熱化学的安定性と優れた物理的特性を示します。グラファイトとC/Cの複合材料との良好な化学的および機械的互換性を備えているため、TACコーティングは、航空宇宙熱保護、単結晶成長、および半導体産業のLPE EPI反応器などのエピタキシャルリアクターで広く使用されています。 

TACコーティンググラファイトは、裸の石インクまたはSICコーティンググラファイトよりも優れた化学腐食耐性を持ち、2200°高温で安定に使用でき、多くの金属要素と反応しません。これは、MOCVD機器でGANまたはALN単結晶の栽培に特に適しており、PVT機器のSIC単結晶が栽培されており、成長した単結晶の品質は明らかに改善されています。