SiCエピタキシャルリアクタ用TaCコーティングリング

SICエピタキシャル反応器のためのTACコーティングリングの製品紹介

Vetek Semiconductorは、中国に拠点を置く有名な会社であり、高品質のTACおよびSICコーティングの製造の専門知識と、SICエピタキシャル反応器用の高純度TACコーティングリングです。私たちは、優れた製品を競争力のある価格で提供することに誇りを持っています。私たちはあなたに私たちに手を差し伸べ、私たちが提供する例外的なソリューションを発見するように温かく招待します。

SICエピタキシャル反応器のTACコーティングリングは、重要な役割を果たします。これらのリングは、ハーフムーンセットの不可欠な部分であり、基質サポート、正確な温度制御、効果的な熱断熱、効率的な換気、信頼できる保護などの重要な機能を提供します。調和して作業することにより、これらのリングは、反応チャンバー内で成長したSICエピタキシャル層の厚さ、ドーピング、および欠陥特性を綿密に制御することを保証します。

当社の例外的なTACコーティングリングに加えて、Vetek Semiconductorは、反応チャンバー専用に設計された広範な関連製品を提供します。当社の製品ラインナップには、上半分と下のハーフムーン、保護カバー、断熱カバー、プロセス空気迂回インターフェイスが含まれます。これらの各コンポーネントは、パフォーマンスを向上させ、寿命を延ばすために、細心のSICまたはTACコーティングを受けます。

SICエピタキシャル反応器のためのTACコーティングリングの製品パラメーター

VeTek半導体製造工場：

半導体チップエピタキシー産業チェーンの概要：