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Vetek Semiconductor は、中国の無錫で開催された CSEAC 2026 に参加し、先進的な CVD SiC および TaC コーティング、グラファイト コンポーネント、SiC セラミック、その他の半導体コア材料を展示しました。このイベントは、顧客とのパートナーシップを強化し、新技術について話し合い、協力プロジェクトを推進し、世界の半導体業界全体で将来の機会を模索する貴重な機会を提供しました。

VETEK Semiconductor は、CVD SiC コーティング、CVD TaC コーティング、固体 SiC、高純度グラファイトおよびカーボンファイバー、石英および先進セラミックス、半導体ウェーハを含む 6 つの主要な製品カテゴリーを専門としています。当社の製品は、エピタキシー、エッチング、結晶成長などの重要な半導体プロセスに使用されます。二重の研究開発プラットフォーム、完全に統合された製造システム、および世界的な供給能力を備えた当社は、全国的に専門化された洗練された「小さな巨人」企業として認められています。

VETEK の新しい半導体製造施設は、半導体グレードのクリーンルーム建設段階に入りました。新しい拠点は、CVD SiC コーティングされたグラファイト部品、TaC コーティング、PyC コーティング、固体 SiC 部品、および半導体用途向けの高純度グラファイト材料の生産をサポートします。

VeTek Semiconductor は、SNEC 2026 Shanghai での重要な洞察を共有し、高純度グラファイト、CVD SiC コーティングされたグラファイト コンポーネント、カーボン複合材、次世代の太陽光発電製造と太陽光発電生産をサポートする先進的な熱分野材料に焦点を当てています。

VETEK は、新しい半導体製造拠点の竣工式を祝い、高度な SiC、TaC、および PyC コーティング技術、固体 SiC コンポーネント、高純度グラファイト部品、および半導体熱フィールド材料の生産能力を拡大します。

9月5日、Vetek Semiconductorの顧客はSICコーティングおよびTACコーティング工場を訪問し、最新のエピタキシャルプロセスソリューションに関するさらなる合意に達しました。

2025 年 9 月 5 日、ポーランドの顧客が VETEK の工場を訪問し、炭素繊維製品の製造における当社の先進技術と革新的なプロセスについて学びました。

CVD 炭化ケイ素コーティングは、制御された気相および表面反応を通じて高純度グラファイト上に緻密な SiC 層を堆積することによって生成されます。この記事では、基板の準備、MTS ベースの CVD 成長、核生成と物質移動、コーティングの厚さと均一性、SiC/グラファイト界面の応力、一般的な欠陥、半導体グレードの検査について説明します。また、エピタキシーや MOCVD で使用されるサセプタとウェーハ キャリアについて、プロセス パラメータとコンポーネントの形状を組み合わせて設計する必要がある理由も示しています。

炭化ケイ素コーティングは、半導体プロセスで使用される高純度グラファイト部品に適用される緻密な CVD SiC 層です。この記事では、グラファイトが SiC でコーティングされる理由、CVD SiC がどのように形成されるか、性能を制御するコーティング特性と界面要因、および SiC コーティングされたグラファイトがシリコン エピタキシー、SiC エピタキシー、MOCVD をどのようにサポートするかについて説明します。また、コーティングの厚さ、CTE の不一致、層間剥離のリスク、およびサセプタ、ウェーハキャリア、その他のコーティングされたコンポーネントを指定する際に必要なエンジニアリング情報も検査します。

CVD SiC および TaC コーティングが半導体エピタキシーにおける熱安定性、汚染、パーティクル、再現性にどのような影響を与えるかに関する技術ホワイト ペーパー。パラメータ テーブル、コーティング選択の決定ツリー、故障メカニズム、RFQ 基準が記載されています。

8 インチ SiC は現在量産されていますが、勝者を分けるのは容量ではなくウェーハの歩留まりです。このガイドでは、グラファイト ホットゾーン部品の TaC コーティングが歩留まりを決定する理由と、サプライヤーを認定する方法について説明します。

最新のチップ製造では、基板が物理的なサポートと熱放散経路を提供し、エピタキシャル層がデバイスの電気的性能限界を決定します。この記事では、単結晶シリコンおよび炭化ケイ素基板と CVD/MBE エピタキシャル プロセスの基本的な違いを詳細に分析し、エピタキシャル技術が欠陥密度を低減し、ひずみエンジニアリングを組み込むことによってどのように高周波および高電圧デバイスの性能を向上させるかを明らかにします。あなたがプロセス エンジニアであっても、調達意思決定者であっても、このガイドは、最適なウェーハ選択戦略を迅速に特定するのに役立ちます。

MOCVDエピタキシーグラファイトサセプタのエッジの黄変と炭化ケイ素コーティングの剥離の原因を詳細に分析します。 VeTek は、初期 CVD 堆積速度と流れ場を正確に制御することでマイクロストレスを排除し、コーティング収率を 50% から 90% に向上させ、高純度グラファイト部品の耐用年数を延長しました。

マルチポケット シリコン エピタキシー グラファイト サセプタのポケット間の厚さのばらつきが 1.4% であることに対処し、VeTek Semi は CVD 流れ場シミュレーションと超精密 SiC コーティングによってサセプタの平坦度を 0.08mm 未満に改善し、ばらつきを 0.69% に低減し、ウェハの歩留まりを向上させました。

Vetek がどのようにして大型 MOCVD SiC コーティングされたグラファイト サセプターの放射状亀裂を除去したかをご覧ください。構造応力バッファーの再設計と CTE マッチングにより、耐用年数が 300% 以上延長されました。

A decade of SiC evolution — from early 4-inch commercialization challenges to today's 8-inch wafer transition. Discover how CVD SiC coatings, Solid SiC, and TaC materials enable reliable semiconductor manufacturing.