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TACコーティングされたデフレクターリング
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TACコーティングされたデフレクターリング

Vetek半導体のTACコーティングされたディフレクターリングは、SICクリスタル成長プロセス向けに設計された高度に専門化されたコンポーネントです。 TACコーティングは、結晶成長プロセス中の高温と腐食性環境に対処するために、優れた高温抵抗と化学的不活性を提供します。これにより、コンポーネントの安定したパフォーマンスと長寿命が保証され、交換とダウンタイムの頻度が減少します。私たちは競争力のある価格で高品質の製品を提供することを約束しており、中国であなたの長期パートナーになることを楽しみにしています。

Vetek Semiconductorは、プロの中国TACコーティングされたデフレクターリングメーカーおよびサプライヤーです。SICクリスタル成長プロセスで使用するために設計された高度に専門化されたコンポーネントです。これらのコンポーネントは、高温抵抗、例外的な耐久性、および比類のない化学的不活性を必要とする環境で重要です。

TACコーティングされたデフレクターリングは、高純度炭化物から製造されており、高温と熱ショックに対する優れた熱伝導率と極端な耐性を提供します。コンポーネントのTACコーティングは、結晶の成長に一般的な攻撃的な化学物質と過酷な環境に対する追加の保護層を提供します。コーティングの存在は、コンポーネントの耐久性と寿命を増加させ、複数のサイクルで一貫したパフォーマンスを維持します。

TACコーティングされたデフレクターリングは、最大2200°Cまでの温度に耐えることができ、高温プロセスに最適です。TACコーティングされたデフレクターリングは、主に半導体産業、特に炭化ケイ素の結晶成長に使用されます。研究および工業規模の結晶成長反応器の両方に適しています。


TACコーティングされたデフレクターリングの製品パラメーター

TACコーティングの物理的特性
密度 14.3(g/cm³)
特定の放射率 0.3
熱膨張係数 6.3×10-6/k
硬度(hk) 2000 HK
抵抗 1×10-5オーム*cm
熱安定性 <2500℃
グラファイトサイズの変更 -10〜-20um
コーティングの厚さ ≥20um典型的な値(35um±10um)


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半導体チップエピタキシー産業チェーンの概要:

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