PECVDグラファイトボートのコア材料は、高純度の等方性グラファイト材料（純度は通常99.999％以上）であり、優れた電気伝導率、熱伝導率、密度を備えています。通常のグラファイトボートと比較して、PECVDグラファイトボートには多くの物理的および化学的特性の利点があり、主に半導体および太陽光発電産業、特にPECVDおよびCVDプロセスで使用されています。
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