LPE PE2061SのSICコーティングバレル受容器

VeTek Semiconductor は、中国向けの専門的な SiC コーティング バレル サセプタです。LPE PE2061Sメーカーおよびサプライヤー。

LPE PE2061SのVetek半導体SICコーティングバレル受容器は、高度に精製された等方性グラファイトの表面に炭化シリコンの微細な層を適用することにより作成された高性能製品です。これは、Vetek Semiconductorの所有者によって達成されます化学蒸着（CVD）プロセス。

当社の LPE PE2061S 用 SiC コーティング バレル サセプタは、CVD エピタキシャル蒸着バレル リアクタの一種で、極限環境でも信頼性の高い性能を発揮するように設計されています。優れたコーティング密着性、高温酸化耐性、耐食性により、過酷な条件での使用に最適です。さらに、均一な熱プロファイルと層流ガス流パターンにより汚染が防止され、高品質のエピタキシャル成長が保証されます。

半導体の樽型の設計エピタキシャル反応器層状ガスの流れパターンを最適化し、均一な熱分布を確保します。これは、不純物の汚染または拡散を防ぐのに役立ちます、ウェーハ基板上で高品質のエピタキシャル成長を保証.

私たちは、高品質で費用対効果の高い製品をお客様に提供することに専念しています。私たちのCVD SICコーティングバレル受容器は、両方のために優れた密度を維持しながら、価格の競争力の利点を提供しますグラファイト基板そして炭化シリコンコーティング、高温および腐食性の作業環境で信頼できる保護を提供します。

CVD SICフィルムクリスタル構造のSEMデータ：

SiCコーティングされた単結晶成長用バレルサセプタは、非常に高い表面平滑性を示します。

グラファイト基板ととの間の熱膨張係数の違いを最小限に抑える

炭化ケイ素コーティングにより、接着強度を効果的に向上させ、ひび割れや層間剥離を防ぎます。

グラファイト基板と炭化ケイ素コーティングはいずれも高い熱伝導率と優れた熱分散能力を備えています。

融点が高く、高温があります酸化抵抗、 そして耐食性.