EPIのSICコーティンググラファイトバレル受容器

✔ 汚染の軽減：SICの不活性性は、不純物が容疑者の表面に付着することを防ぎ、堆積したフィルムの汚染のリスクを軽減します。

✔ 耐浸食性の向上: SiC は従来のグラファイトよりも耐侵食性が大幅に優れているため、サセプタの寿命が長くなります。

✔ 熱安定性の向上：SiCは熱伝導性に優れており、大きな歪みなく高温に耐えることができます。

✔ 強化されたフィルム品質：熱安定性の改善と汚染の減少により、均一性と厚さの制御が改善された高品質の堆積膜が生じます。

✔GANベースのLED

✔ パワーエレクトロニクス

✔ 光電子デバイス

✔高周波トランジスタ

✔センサー

SiCコーティンググラファイトバレルサセプタの製品パラメータ

        注：コーティングの前に、コーティング後、最初の精製を行い、2回目の精製を行います。

CVD SiCコーティングの基本物性