CVD TACコーティングとは何ですか？ -Vékesemi-ニュース - デマンドデマンドSemiconductor Technology Co.、Ltd

CVD TAC コーティングとは何ですか? - ヴェテクセミ

私たち全員が知っているように、炭化タンタル (TaC)最大3880°Cの融点があります、高い機械的強度、硬度、耐熱衝撃性。高温でのアンモニア、水素、シリコン含有蒸気に対する化学的不活性性と熱安定性が良好です。

Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section picture

微視的な断面上の炭化物コーティング

CVD TACコーティング、化学蒸着 (CVD)炭化タンタル (TaC) コーティングは、基材 (通常はグラファイト) 上に高密度で耐久性のあるコーティングを形成するプロセスです。この方法では、高温で基材の表面に TaC を堆積させることで、優れた熱安定性と耐薬品性を備えたコーティングが得られます。

CVD TACコーティングの主な利点は次のとおりです。

● 非常に高い熱安定性：炭化物のコーティングは、2200°Cを超える温度に耐えることができます。

●耐薬品性: CVD TaC コーティングは、水素、アンモニア、シリコン蒸気などの過酷な化学物質に効果的に耐性があります。

● 強力な粘着力: TaCコーティングにより層間剥離がなく長期的な保護を保証します。

● 高純度: 不純物を最小限に抑え、半導体用途に最適です。

炭化タンタルコーティングの物性
TACコーティング密度	14.3 (g/cm3)
比放射率	0.3
熱膨張係数	6.3*10^-6/k
コーティングの硬度（hk）	2000 HK
抵抗	1×10^-5オーム*cm
熱安定性	<2500℃
グラファイトサイズの変更	-10〜-20um
膜厚	≥20um 代表値 (35um±10um)

これらのコーティングは、半導体の製造や高温産業プロセスなど、耐久性と極端な条件に対する耐性を必要とする環境に特に適しています。

工業生産では、黒鉛（カーボンカーボン複合材）TACコーティングでコーティングされた材料は、従来の高純度グラファイト、PBNコーティング、SICコーティング部品などに取って代わる可能性が非常に高くなります。さらに、航空宇宙の分野では、TACは高温酸化剤として使用される可能性が非常に高いです。アンチアブレーションコーティング、および幅広いアプリケーションの見通しがあります。ただし、グラファイトの表面に密集した均一な非誘導TACコーティングの調製を実現し、工業用大量生産を促進するためには、まだ多くの課題があります。

このプロセスでは、コーティングの保護メカニズムを調査し、生産プロセスを革新し、トップの外国レベルと競合することは、第3世代にとって重要です半導体結晶成長とエピタキシー.

VeTek SemiconductorはCVDタンタルカーバイドコーティング製品の中国の専門メーカーであり、当社のTaCコーティング純度は5ppm未満であり、顧客の要件を満たすことができます。 VeTekSemi の主な CVD TaC コーティング製品には次のものがあります。 CVD TACコーティングるつぼ, CVD TACコーティングウェーハキャリア, CVD TACコーティングキャリア、 CVD TaC コーティングカバー、 CVD TaC コーティングリング。 VeTek Semiconductor は、半導体業界向けのさまざまなコーティング製品向けの高度なソリューションを提供することに尽力しています。 VeTek Semiconductor は、中国におけるお客様の長期的なパートナーになることを心から願っています。