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CVD TACコーティングカバー
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CVD TACコーティングカバー

Vetek Semiconductorが提供するCVD TACコーティングカバーは、要求の厳しいアプリケーションに特化した高度に専門化されたコンポーネントです。高度な機能と例外的なパフォーマンスにより、当社のCVD TACコーティングカバーはいくつかの重要な利点を提供します。私たちのCVD TACコーティングカバーは、成功に必要な保護とパフォーマンスを提供します。
CVD TaC coating cover and collector, cover segment, ceiling, satellite

Vetek SemiconductorのCVD TACコーティングカバーは、幅広い産業で広範な使用法を見出しています。これは、高温耐性と化学的不活性を必要とするプロセスの重要なコンポーネントとして機能します。 CVD TACコーティングカバーは、優れた高温耐性と化学的不活性性を提供し、温度の上昇や腐食状態の環境に非常に適しています。aixtron mocvdシステムまたはLPEシステム。その優れた熱安定性により、信頼性の高いパフォーマンスとサービス寿命が確保され、頻繁な交換の必要性が最小限に抑えられ、ダウンタイムが削減されます。


The TACコーティングカバーに適用されると、優れた熱伝導率が示され、効率的な熱伝達と温度の均一性が可能になります。この機能は、温度分布を制御し、さまざまなプロセス中の熱応力を最小限に抑えるために重要です。その結果、パフォーマンスが向上し、ホットスポットが低下し、全体的な信頼性が向上しました。


さらに、CVD TACコーティングカバーは、化学腐食に対する例外的な耐性を示し、過酷な化学環境での長期的な耐久性を確保します。その化学的に不活性な性質は、基礎となる成分を劣化から保護し、その完全性を維持し、寿命を延ばします。


Vetek SemiconductorのCVD Tantalum Carbide Coatingカバーに頼って、専門的なニーズを満たし、Eを超えてXpectations。高品質の製品を提供するというコミットメントにより、私たちはあなたの業界に高度なソリューションを提供するためにあなたの長期的なパートナーになるよう努めています。 CVD TACコーティングカバーに加えて、コレクターも供給します。カバーセグメント, シーリング, 衛星等々。


CVD TACコーティングカバーの製品パラメーター

の物理的特性TACコーティング
TACコーティング密度 14.3(g/cm³)
特定の放射率 0.3
熱膨張係数 6.3*10-6/k
TACコーティングされた硬度(hk) 2000 HK
抵抗 1×10-5オーム*cm
熱安定性 <2500℃
グラファイトサイズの変更 -10〜-20um
コーティングの厚さ ≥20um典型的な値(35um±10um)


半導体チップエピタキシー産業チェーンの概要

Overview of the Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain

それは半導体ですCVD TACコーティングカバー生産店

SiC Graphite substrateCVD TaC coating cover testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment

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