4インチ断熱材リジッドフェルト - ボディ

プロの高品質の4インチ断熱材の硬質フェルト - ボディメーカー、4インチの断熱材リジッドフェルトを購入することを安心できます - Vetek Semiconductor's Factoryのボディ。

断熱リジッドフェルトは、高温の極端な環境向けに特別に設計された一種の複合断熱材で、炭素繊維および炭素布積層複合プロセスの使用と高温の炭化/グラファイト化処理技術と組み合わせて、超高純度（ASH≤10ppm）、優れた熱安定性、および機械的強度を持っています。この材料は、炭化シリコン（SIC）単結晶成長炉の熱断熱システムで使用するために設計されており、急な熱場の均一性、温度勾配、不純物制御要件を満たしています。

材料とプロセスの特性

複合構造デジグn

表面炭素布の補強：炭素繊維の特別なプロセスと高密度の炭素布の複合材まで、表面は密な保護層を形成し、高温のエアウォッシュと繊維の脱落を効果的に防止し、不純物の放出を減らします。

多層統合プロセス：コア層はカーボンファイバーフェルトであり、グラファイトペーパーまたはカーボンクロスは中央に埋め込まれています。二次高温浄化（≥2000）の後、材料構造は高密度化され、不純物は深く除去されます。

超低不純物の純度

灰の含有量≤10ppm、高温環境に金属イオン、Sio₂、その他の不純物が揮発しないようにし、結晶成長界面の汚染を避け、炭化シリコン単結晶と欠陥制御レベルの純度を改善します19。

適応性を処理します

カスタマイズされた表面処理（グラファイトホイルコーティング、抗酸化剤コーティングなど）、真空または不活性ガス（AR、N₂）環境に適し、1200°Cから3000°Cをカバーする動作温度

コアパフォーマンスパラメーター

アプリケーションフィールドと利点

シリコン炭化物単結晶炉ホットフィールド断熱

炉の断熱層のコア材料として、熱損失を減らし、成長界面温度勾配（ΔT≈20-50℃/cm）を維持し、結晶の軸/radial骨成長速度がバランスが取れていることを確認できます。

柔らかいフェルトとともに勾配断熱構造を形成し、熱応力を軽減し、熱場の寿命を延ばします。

競争上の優位性

熱安定性：熱膨張係数（CTE <2×10⁻⁶/℃）、優れた熱衝撃耐性、繰り返しの上昇および冷却条件に適しています。

経済：従来の柔らかいフェルトと比較して、サービス寿命は3〜5倍増加し、熱いフィールドの交換と生産コストの頻度を削減します。

カスタマイズ：シリンダー、プレート、およびその他の形式の処理、±0.5mmまでの寸法精度、さまざまな炉設計に適しています。

典型的なアプリケーションケース

真空高圧ガス消光炉：熱シールドとして、エネルギー消費を20％以上削減する

大規模なSICクリスタルの成長：8インチの結晶炉の場合、熱野外均一性偏差<1.5％