TACコーティングサブセル

Vetek半導体のTACコーティング受容体とTACコーティング指輪LPEシリコン炭化物エピタキシャル成長反応器で協力してください。

●高温抵抗：TACコーティング容疑者は優れた高温抵抗があり、極端な温度に最大1500°Cに耐えることができます。LPEリアクター。これにより、機器とコンポーネントが長期操作中に変形したり、損傷したりしないようにします。

●化学的安定性：TACコーティング受容装置は、腐食性の炭化シリコン成長環境で非常にうまく機能し、腐食性化学攻撃から反応器成分を効果的に保護し、それによってサービス寿命を延ばします。

●熱安定性：TACコーティング受容装置は優れた熱安定性を持ち、表面の形態と粗さを維持し、反応器の温度場の均一性を確保します。これは、炭化シリコンエピタキシャル層の高品質の成長に有益です。

●抗汚染：滑らかなTACコーティングされた表面と優れたTPD（温度プログラム脱着）性能は、反応器内の粒子と不純物の蓄積と吸着を最小限に抑え、エピタキシャル層の汚染を防ぎます。

要約すると、TACコーティングされた容疑者と環は、LPE炭化物シリコンエピタキシャル成長反応器で重要な保護的役割を果たし、機器の長期安定運転とエピタキシャル層の高品質の成長を確保します。