多孔質タンタルカーバイド: SiC 結晶成長用の新世代材料 - ニュース

多孔質炭化物：SIC結晶成長のための新世代の材料

導電性 SiC 基板の段階的な大量生産に伴い、プロセスの安定性と再現性に対してより高い要件が課されます。特に、欠陥の制御、炉内の熱場のわずかな調整またはドリフトは、結晶の変化または欠陥の増加につながります。

後期では「より速く、より太く、より長く成長させる」という課題に直面します。理論と工学の改善に加えて、サポートとしてより高度な熱場材料が必要です。高度な材料を使用して高度な結晶を成長させます。

熱場のるつぼでのグラファイト、多孔質グラファイト、タンタル炭化物粉末などの材料の不適切な使用は、炭素包有物の増加などの欠陥につながります。さらに、一部の用途では、多孔質グラファイトの透過性だけでは不十分であり、透過性を高めるために追加の穴を開ける必要があります。透過性が高い多孔質グラファイトは、処理、粉末損失、エッチングなどの課題に直面しています。

最近、Vetek Semiconductorは、新世代のSICクリスタル成長熱磁場材料を発売しました。多孔質タンタルカーバイド、世界で初めて。

Tantalum Carbideには強度と硬度が高く、多孔質にすることはさらに困難です。多孔質の多孔質タンタルを炭化物を作ることはさらに困難です。 Vetek半導体は、大きな多孔性を備えた画期的な多孔質タンタル炭化物を発射しました。最大気孔率は75%で、国際トップレベルに達しています.

さらに、気相成分のろ過、局所温度勾配の調整、材料の流れの指針、漏れの制御に使用できます。別の固体炭化物（密な）または炭化物のタンタルム炭化物コーティングと組み合わせて、異なる局所流量コンダクタンスを持つ成分を形成することができます。一部のコンポーネントは再利用できます。

技術的パラメータ

気孔率 ≤75% 国際トップクラス

形状：フレーク、円筒形国際トップクラス

均一な気孔率

vetek半導体多孔質炭化物（TAC）には、次の製品機能があります

● 多用途用途向けの多孔性

TaC の多孔質構造は多機能性を提供し、次のような特殊なシナリオでの使用を可能にします。

ガス拡散：半導体プロセスでの正確なガスフロー制御を促進します。

濾過：高性能の微粒子分離が必要な環境に最適です。

制御熱散逸: 高温システムの熱を効率的に管理し、全体的な温度調節を強化します。

●極端な高温抵抗

約3,880°Cの融点で、炭化物のタンタルムは超高温用途に優れています。この例外的な耐熱性により、ほとんどの材料が失敗する状態で一貫した性能が保証されます。

● 優れた硬度と耐久性

ダイヤモンドの多孔質TACと同様に、MOHS硬度スケールで9-10にランクされていることは、極端なストレスの下であっても、機械的摩耗に対する比類のない耐性を示しています。この耐久性により、研磨環境にさらされるアプリケーションに最適です。

● 優れた熱安定性

タンタルカーバイドは、極度の熱でも構造の完全性と性能を維持します。その優れた熱安定性により、半導体製造や航空宇宙など、高温の一貫性が必要な産業において信頼性の高い動作が保証されます。

● 優れた熱伝導性

多孔質 TaC は多孔質であるにもかかわらず、効率的な熱伝達を維持し、急速な熱放散が重要なシステムでの使用を可能にします。この特徴により、熱負荷の高いプロセスにおける材料の適用性が高まります。

● 低い熱膨張による寸法安定性

タンタルカーバイドは熱膨張係数が低いため、温度変動による寸法変化に耐えます。この特性により熱応力が最小限に抑えられ、コンポーネントの寿命が延び、重要なシステムの精度が維持されます。

半導体製造において、多孔質炭化タンタル (TaC) は以下の特定の重要な役割を果たします。

● プラズマエッチングや CVD などの高温プロセスでは、VeTek 半導体多孔質タンタルカーバイドが処理装置の保護コーティングとしてよく使用されます。これは、TaC コーティングの強力な耐食性と高温安定性によるものです。これらの特性により、反応性ガスや極端な温度にさらされる表面を効果的に保護し、高温プロセスの正常な反応を保証します。

●拡散プロセスでは、高温プロセスでの材料の混合を防ぐための効果的な拡散障壁として機能する可能性があります。この機能は、イオン着床や半導体ウェーハの純度制御などのプロセスでドーパントの拡散を制御するためによく使用されます。

●VETEK半導体の多孔質構造は、正確なガスフロー制御またはろ過を必要とする半導体処理環境に非常に適しています。このプロセスでは、多孔質TACは主にガスろ過と分布の役割を果たします。その化学的不活性は、ろ過プロセス中に汚染物質が導入されないことを保証します。これにより、加工製品の純度が効果的に保証されます。