VEECO MOCVD (LED エピタキシー) 用ウェーハキャリア

製品の特徴：

1. 緻密なCVD SiC層を備えた高純度グラファイトベース
2. 安定したLEDエピタキシーのための良好な熱均一性
3. プロセスで使用されるNH₃、HCl、およびその他の腐食性ガスに耐えます
4. 粒子の脱落が少なく、長寿命
5. ポケットの設計は、さまざまなウェーハサイズやリアクタープラットフォームに合わせてカスタマイズ可能
6. 長時間の高温MOCVD操作に適しています。

アプリケーション:
これらのウェーハキャリアは、以下を含む LED および化合物半導体エピタキシーで広く使用されています。

• GaN LEDエピタキシー
• 青緑色 LED エピタキシー
• 深紫外LEDの成長
• SiベースのGaNエピタキシー
• 化合物半導体製造全般

カスタム キャリア ソリューションは、次のような複数の LED MOCVD プラットフォームに適合します。

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• エクストロン G4/G5
• A7/ユニマックス

技術的な利点:

1. CVD SiCコーティング優れた密度と純度を実現するテクノロジー
2. コーティング厚さのばらつきは±10μm以内に抑えられ、熱性能の安定性を維持します。
3. 最高 3 μm の精度までの CNC 加工により、良好なウェハーフィットと回転安定性を実現
4. コーティングは密着性が高く、高温 MOCVD サイクルを繰り返した後でも亀裂が発生しにくい
5. NH₃、HCl、その他の過酷なエピタキシー環境にも問題なく対応
6. 粒子の発生が少なく、きれいな表面により高歩留まりをサポートLEDエピタキシー
7. さまざまなリアクタープラットフォームやウェーハレイアウトに合わせて、大型またはカスタムサイズをコーティングできます
8. 長年の経験カスタムグラファイトおよびSiCコーティング部品LEDおよび化合物半導体エピタキシー用

よくある質問：
1. ウェーハキャリアは何をするのかMOCVDLEDエピタキシー?

A: MOCVD リアクター内でウェーハを保持して回転させ、エピタキシャル成長中の温度を一定に保つのに役立ちます。

2. MOCVD に SiC コーティングされたグラファイト ウェーハ キャリアを使用する理由は何ですか?

A:CVD SiCコーティング耐食性、熱安定性、耐久性が向上します。また、高温エピタキシーにおける粒子汚染の削減にも役立ちます。

3. Vetek Semiconductor はカスタムのウェーハ キャリアを製造していますか?
A: はい。当社は、リアクター プラットフォーム、ウェーハ サイズ、ポケット レイアウト、その他のプロセスのニーズに基づいてカスタム キャリアを設計できます。