TEL用高純度石英ウェーハボート

製品の利点

1.高純度石英材料：半導体プロセス中の汚染リスクを最小限に抑えるため、高純度の石英で作られています。

2. 優れた熱安定性：繰り返しの高温処理条件下でも安定した性能を発揮します。

3. 低発塵：滑らかな表面仕上げにより、粒子の発生が軽減され、プロセスの清浄度が維持されます。

4.カスタマイズされたデザイン：お客様の装置要件に応じてカスタマイズされた寸法、ウェーハサイズ、構造をサポートします。

5.精密石英加工：ファイアポリッシュ、溶接、アニーリングなどの高度な石英加工技術を通じて製造されています。

技術仕様

アプリケーション

高純度石英ウェーハボートは、以下を含む半導体熱処理装置で広く使用されています。

- 拡散炉

- 酸化炉

- アニール装置

- CVD処理システム

IC製造、パワー半導体製造、その他の高度な半導体プロセスにおけるウェーハハンドリングアプリケーションに適しています。

VETEK を選ぶ理由

1. 半導体材料の専門知識：VETEK は高純度の半導体材料とプロセス コンポーネントに重点を置き、石英コンポーネント、CVD SiC コーティング製品、グラファイト コンポーネント、その他の先端材料を含むソリューションを提供します。

2.高度な水晶加工能力：VETEK は、高品質のコンポーネント要件を満たすために、ファイアポリッシュ、溶接、アニーリングなどの半導体グレードの石英処理サービスを提供します。

3. カスタマイズされた半導体ソリューション：VETEK は、顧客の装置、ウェーハ サイズ、プロセス要件に基づいてカスタマイズされた半導体コンポーネントをサポートします。