炭化物コーティングサポート

Vetek半導体の主な機能Tantalum Carbide（TAC）コーティングサポートは改善することです耐熱性、耐摩耗性、耐食性プロセスの精度と信頼性を向上させ、コンポーネントのサービス寿命を延長するために、炭化物コーティングの層をコーティングすることにより、基板のものです。これは、半導体処理の分野で使用される高性能コーティング製品です。

vetek半導体の炭化物のタンタルcar炭合成サポーターは、ほぼ9〜10のMOHSの硬度があり、ダイヤモンドにのみ秒があります。耐摩耗性は非常に強く、処理中に表面の摩耗や衝撃に効果的に抵抗する可能性があるため、機器コンポーネントのサービス寿命を効果的に拡大できます。約3880°Cの高い融点と組み合わせることで、サポート構造の表面コーティング、熱処理装置、チャンバー、またはガスケットなどの半導体装置の主要成分を、耐摩耗性と高温抵抗を強化するために、多くの場合使用されます。

約3880°Cの炭化物の極端な融点が非常に高いため、半導体処理プロセスでは化学蒸着（CVD）そして物理的蒸気堆積（PVD）、強力な高温抵抗と化学耐性耐性を備えたTACコーティングは、機器成分を効果的に保護し、極端な環境での基質の腐食または損傷を防ぎ、ウェーハ製造における高温環境に効果的な保護を提供する可能性があります。また、この機能は、Vetek半導体のタンタル炭化物コーティングサポートがエッチングおよび腐食プロセスでよく使用されることを決定します。

炭化物のコーティングサポートには、粒子汚染を減らす機能もあります。ウェーハ加工中、表面摩耗は通常、粒子状の汚染を生成し、ウェーハの製品品質に影響します。 9〜10個近くのMOHS硬度のTACコーティングの極端な製品特性は、この摩耗を効果的に減らし、それにより粒子の生成を減らすことができます。 TACコーティングの優れた熱伝導率（約21 w/m・K）と組み合わせることで、高温条件下で良好な熱伝導率を維持することができ、それによりウェーハ製造の収量と一貫性が大幅に改善されます。

Vetek Semiconductorの主要なTACコーティング製品には含まれますTACコーティングヒーター, CVD TACコーティングるつぼ, TACコーティング回転容疑者そしてTACコーティングスペアパーツなど、カスタマイズされた製品サービスをサポートします。 Vetek Semiconductorは、半導体業界に優れた製品と技術ソリューションを提供することに取り組んでいます。私たちは、中国であなたの長期的なパートナーになることを心から願っています。

微視的な断面の炭化物（TAC）コーティング:

CVD TACコーティングの基本的な物理的特性：