高純度SICウェーハボートキャリア

VeTekSemi 高純度 SiC ウェーハボートキャリアは、半導体製造プロセスのアニール炉、拡散炉、その他の装置で使用される重要な軸受部品です。高純度SiCウェーハボートキャリアは通常、高純度炭化ケイ素材料で作られており、主に次の部品が含まれています。

• ボート支持体：キャリーに特別に使用されるブラケットに似た構造シリコンウェーハまたは他の半導体材料。

• サポート構造: 支持構造設計により、高温での重い荷重に耐えることができ、高温処理中に変形したり損傷したりすることはありません。

炭化ケイ素材料

の物性再結晶炭化ケイ素：

生産プロセスの要件が高い場合、CVD SICコーティング高純度SiCウェーハボートキャリア上で純度を99.99995%以上にすることができ、耐高温性がさらに向上します。

CVD SICコーティングの基本的な物理的特性:

高温処理中、高純度SICウェーハボートキャリアにより、シリコンウェーハを均等に加熱して、局所的な過熱を避けることができます。さらに、シリコン炭化物材料の高温抵抗により、1200°C以下の温度で構造の安定性を維持することができます。

拡散またはアニーリングプロセス中、カンチレバーパドルと高純度 SiC ウェーハボートキャリアが連携して動作します。のカンチレバーパドルシリコンウェーハを運ぶ高純度SiCウェーハボートキャリアをゆっくりと炉室内に押し込み、処理のために指定された位置で停止します。 

高純度SICウェーハボートキャリアは、シリコンウェーハとの接触を維持し、熱処理プロセス中に特定の位置に固定されますが、カンチレバーパドルは温度の均一性を確保しながら構造全体を正しい位置に保つのに役立ちます。

高純度SICウェーハボートキャリアとカンチレバーパドルは、高温プロセスの精度と安定性を確保するために連携します。

ヴェテック・セミコンダクターは、お客様のニーズに応じてカスタマイズされた高純度 SiC ウェーハ ボート キャリアを提供します。お問い合わせをお待ちしております。

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