SICコーティングされたシリコンカーバイドウェーハボート

VeTek Semiconductor は、長年の経験を持つ SiC コーティングされた炭化ケイ素ウェーハ ボートを主に生産する中国のメーカーおよびサプライヤーです。 SiCコーティングされた炭化ケイ素ウェーハボートは、イオン注入、拡散、アニールなどのさまざまな高温プロセスでウェーハを搬送するために半導体拡散炉で使用されます。ウェーハに安定した環境を提供し、処理中の温度の均一性と一貫性を確保します。

SICコーティングされた炭化シリコンウェーハボートは、耐熱性と化学的安定性が高く、より高い温度で動作し、寿命が長くなります。さらに、材料の蒸発速度とガス吸着速度が低く、ウェーハ処理に対する不純物の影響を減らすのに役立ちます。

水平ウェーハボート、垂直ウェーハボート、その他のカスタマイズされたボートなど、さまざまな種類の炭化シリコンウェーハボートを製造できます。

当社の高純度炭化ケイ素の利点:

1.高温安定性

2.化学的不活性

3.不純物含有量が低い

4.熱伝導率

再結晶炭化ケイ素の物性

VeTek半導体製造工場：