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LPE SI EPI 受容体セット
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LPE SI EPI 受容体セット

フラット受容器とバレル受容器はEPI容疑者の主な形状です。Vetek半導体は、中国の主要なLPE SI EPI SIPI SICTEPTOR SETメーカーおよびイノベーターです。長年にわたってSICコーティングとTACコーティングに特化しています。 LPE PE2061S 4 "ウェーハ用に特別に設計されたセット。グラファイト材料とSICコーティングのマッチング度は良好で、均一性は優れており、寿命は長く、LPE中のエピタキシャル層の成長を改善できます(液相エピタキシー)プロセス。中国の工場を訪問することを歓迎します。

ヴェテック・セミコンダクター は、中国の LPE Si EPI レシーバー セットの専門メーカーおよびサプライヤーです。 高品質と競争力のある価格で、私たちの工場にアクセスして、私たちとの長期的な協力を設定することができます。


Vetek半導体LPE SI EPI SECTECTERセットは、高度に精製された表面に炭化シリコンの細かい層を適用することによって作成された高性能製品です。等方性黒鉛。これは、VeTeK Semiconductor 独自の化学蒸着 (CVD) プロセスによって実現されます。


Vetek SemiconductorのLPE SI EPI Suctenceptorセットは、困難な条件でも確実に機能するように設計されたCVDエピタキシャル堆積バレル反応器です。その優れたコーティングの接着、高温酸化に対する耐性、腐食は、過酷な環境に理想的な選択となります。さらに、その均一な熱プロファイルと層状ガスの流れパターンは汚染を防ぎ、高品質のエピタキシャル層の成長を保証します。


半導体エピタキシャル反応器の樽型の設計により、ガスの流れが最適化され、熱が均等に分布するようにします。この特徴は、汚染と不純物の拡散を効果的に防止し、ウェーハ基板上の高品質のエピタキシャル層の生成を保証します。


ヴェテック・セミコンダクター では、お客様に高品質でコスト効率の高い製品を提供することに尽力しています。当社の LPE Si エピ サセプタ セットは、グラファイト基板とグラファイト基板の両方で優れた密度を維持しながら、競争力のある価格を提供します。炭化ケイ素コーティング。この組み合わせは、高温および腐食性の職場環境での信頼できる保護を保証します。


CVD SICフィルムのSEMデータ

SEM DATA OF CVD SIC FILM


CVD SICコーティングの基本的な物理的特性:

CVD SICコーティングの基本的な物理的特性
財産 典型的な値
結晶構造 FCCβ相多結晶、主に(111)配向
CVD SiC コーティング密度 3.21 g/cm3
SICコーティングの硬度 2500ビッカーズの硬度(500g負荷)
穀物サイズ 2〜10mm
化学純度 99.99995%
熱容量 640 J・kg-1・K-1
昇華温度 2700℃
曲げ強度 415 MPA RT 4ポイント
ヤング率 430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率 300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE) 4.5×10-6K-1


ヴェテック・セミコンダクター LPE SI EPI 受容体セットプロダクションショップ

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半導体チップのエピタキシー産業チェーンの概要:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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