TACコーティング回転プレート

VETEK半導体のTACコーティング回転プレートには、高純度組成、5ppm未満の不純物含有量、およびLPE EPIシステム、AIXTRONシステム、Nuflareシステム、TEL CVDシステム、VEECOシステム、TSIシステムで広く使用されている密な均一な構造があります。

● 優れた機械的特性：

優れた耐摩耗性を備えた最大2300HVの硬度をコーティングします。

コーティングと基質の間の接着は強く、落ちたり皮をむいたりするのは容易ではありません。

コーティングは、高温で良好な構造安定性を維持することができます。

●  優れた腐食抵抗：

TAC材料自体には、優れた化学物質の安定性と耐食性があります。

Vetek半導体のコーティングは、さまざまな攻撃的なガス環境でうまく機能します。

腐食損傷から、機器の内部コンポーネントを効果的に保護できます。

●表面のハイ仕上げ：

Vetek Semiconductorは、正確なコーティングプロセスを使用して、目的の仕上げを生成します。

表面の粗さが低いのは、粒子の蓄積と堆積を減らすのに役立ちます。

●コーティングの一貫性は良好です：

Vetek Semiconductorには、バッチ間の一貫したパフォーマンスを確保するための音質制御システムがあります。

コーティングの厚さは均等に分布しており、明らかな局所的な欠陥はありません。

●優れた実用アプリケーションパフォーマンス：

Vetek半導体のTACコーティングは、海外の多くの有名なエピタキシャル機器メーカーで広く使用されています。

TACコーティングされた回転プレートの製品物理パラメーター：

微視的な断面上の炭化物コーティング