SICコーティングウェーハキャリア

Vetek Semiconductorは、製造と高性能SICコーティングウェーハキャリアの供給を専門としており、半導体業界に高度な技術と製品ソリューションの提供に取り組んでいます。

半導体製造では、Vetek半導体のSICコーティングウェーハキャリアは、特に金属有機化学蒸気堆積（MOCVD）機器の化学蒸気堆積（CVD）機器の重要な成分です。その主なタスクは、エピタキシャル層が均一に成長できるように、単結晶基板をサポートおよび加熱することです。これは、高品質の半導体デバイスの製造に不可欠です。

SICコーティングの耐食性は非常に良好であり、腐食性ガスからグラファイトベースを効果的に保護できます。これは、高温および腐食性環境で特に重要です。さらに、SIC材料の熱伝導性も非常に優れており、熱を均等に伝導し、均一な温度分布を確保することができ、それによりエピタキシャル材料の成長品質が向上します。

SICコーティングは、高温および腐食性の大気の化学的安定性を維持し、コーティング不全の問題を回避します。さらに重要なことは、SICの熱膨張係数はグラファイトの熱膨張係数と類似しているため、熱膨張と収縮によるコーティング脱落の問題を回避し、コーティングの長期的な安定性と信頼性を確保できます。

の基本的な物理的特性SICコーティングウェーハキャリア:

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半導体チップエピタキシー産業チェーンの概要: