炭化シリコンロボットアーム

Veteksemiconの炭化シリコンロボットアームは、過酷な産業環境向けに特別に設計されたハイエンド半導体処理ソリューションです。高度な高純度の炭化シリコン材料技術を利用して、高温、腐食性環境、超高真空条件での並外れた安定性と耐久性を示しています。ウェーハの取り扱い、エッチング、および堆積プロセスの重要なコンポーネントとして、ロボットアームは生産性を大幅に向上させ、メンテナンスコストを削減します。

ⅰ。技術的なパラメーター

ⅱ。 Veteksemicon Silicon Carbide Robot Arm Coreの利点

1。極端な環境耐性

私たちのロボットアームは、複数の高温堆積プロセスを受ける独自に処方されたSICコーティングを使用し、1500°Cの持続温度で構造的完全性を維持し、プラズマ爆撃と強酸およびアルカリ環境からの腐食に効果的に耐えることができます。これは、老化を起こしやすく、極端な労働条件下で寿命が短い伝統的な材料の問題点に基本的に対処しています。

2。優れた機械的特性

グラファイト基質とSICコーティングの複合構造を採用することにより、腕が非常に軽量であることを保証しながら、金属材料の剛性をはるかに超える剛性を達成しました。この設計により、ロボットアームの変形は、高速往復運動中に非常に小さく、ジッターを効果的に抑制し、それにより±0.02mm以内の反復位置の精度をしっかりと制御し、精密ウェーファーの安全な透過を保証します。

3。超高清潔さ

粒子状汚染が収量の一番の殺人者であることを理解しています。したがって、各ロボットアームは精密研磨と特殊な表面処理を受け、表面粗さRAが0.1μm未満になります。コーティングはしっかりと順守され、剥離のリスクを防ぎます。当社の製品は、100％清潔でテストされており、完全に超高クリーンルームの要件を満たしており、最先端の生産ラインで使用できます。

4。長いサービスライフ

SICの3000 hVの固有の硬度と優れた耐摩耗性のおかげで、ロボットアームは、数万のモーションサイクルの後でも、最小限の性能劣化を経験します。彼らのサービス寿命は、通常のセラミックまたはアルミニウム合金成分の数倍であり、交換とメンテナンスのためにダウンタイムを大幅に削減し、お客様に全体的な費用対効果をもたらします。

ⅲ。メインアプリケーションフィールド

Veteksemicon Carbide Robot Armの生態系チェーン検証は、生産に原材料をカバーし、国際標準認証に合格し、半導体および新しいエネルギー分野での信頼性と持続可能性を確保するための多くの特許取得済みの技術を持っています。いつでもご相談ください。