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SiCウエハーボート
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SiCウエハーボート

SICウェーハボートは、主に酸化と拡散プロセスのためにウェーハを運ぶために使用され、ウェーハ表面に温度を均等に分布させることができるようにします。 SIC材料の高温の安定性と高い熱伝導率により、効率的で信頼性の高い半導体処理が保証されます。 Vetek Semiconductorは、高品質の製品を競争力のある価格で提供することに取り組んでいます。

以下は、SiC ウェーハ ボートについての理解を深めていただくために、VeTek Semiconductor の高品質 SiC ウェーハ ボートの紹介です。新しい顧客と古い顧客を歓迎し、より良い未来を創造するために引き続き協力してください。


SICウェーハボートアプリケーションの概要:

SiC の横型正方形ウェーハ ボートは、高温拡散プロセスの重要なコンポーネントとして機能し、ウェーハ サポートとして機能します。これらのボートは、処理中にデリケートなウェーハを安全かつ効率的に取り扱う上で重要な役割を果たします。


SiC ウェーハ ボートの機能要件:

高温強度:ボートは、高温処理の過酷な環境に耐えるために、高温で例外的な強度を実証する必要があります。

高温の化学的安定性:極端な高温条件下で構造の完全性と化学組成を維持することで、プロセスの純度が保証されます。

パーティクルフリー性能: 処理されるウェーハの品質を保護するために、ボートにはパーティクルの発生や汚染があってはなりません。


Vetek Semiconductor の SiC ウェーハ ボートを選ぶ理由?

汎用仕様:Vetek Semiconductorは、さまざまな標準仕様を提供し、特定の要件を満たすためにカスタマイズされたサービスを提供します。

品質と速度:Vetek半導体は、高品質の製品と迅速な配信を保証し、ペースの速い産業の要求に応えます。

材料の専門知識: 緻密な再結晶炭化ケイ素材料を活用することで、ボートの優れた性能と寿命を保証します。

高温のしきい値:Vetek半導体ボートは、最も要求の厳しい高温プロセスに適した最大動作温度1600°Cを誇っています。

費用対効果:Vetek Semiconductor Boatsは、非常に競争力のあるコストパフォーマンス比を提供し、お金に価値を提供します。

耐久性: Vetek Semiconductor ボートは長寿命で、ウェーハ処理プロセスに信頼性と一貫性をもたらします。

Vetek Semiconductor は、品質、カスタマイズ オプション、材料革新、高温対応能力、費用対効果、寿命への取り組みにおいて市場で傑出しており、世界中の半導体メーカーに選ばれています。


SICウェーハボートの製品パラメーター:

再結晶化された炭化シリコンの物理的特性
財産 代表値
使用温度(℃) 1600°C(酸素付き)、1700°C(環境の減少)
SiC含有量 > 99.96%
無料のSiコンテンツ <0.1%
かさ密度 2.60~2.70g/cm3
見かけの多孔性 <16%
圧縮強度 > 600 MPa
コールドベンディング強度 80~90MPa(20℃)
熱い曲げ強度 90-100 MPA(1400°C)
熱膨張 @1500°C 4.70x10-6/℃
熱伝導率 @1200°C 23 W/m・K
弾性率 240GPa
熱衝撃耐性 非常に良い


制作ショップ:

VeTek Semiconductor Production Shop


半導体チップのエピタキシー産業チェーンの概要:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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