SiCエピタキシープロセス

VeTek Semiconductor の独自のカーバイドコーティングは、要求の厳しい半導体および複合半導体材料の処理のための SiC エピタキシープロセスにおけるグラファイト部品に優れた保護を提供します。その結果、グラファイト部品の寿命が延長され、反応化学量論が維持され、エピタキシーや結晶成長用途への不純物の移動が抑制され、収率と品質が向上します。

当社の炭化タンタル (TaC) コーティングは、高温 (最大 2200°C) で重要な炉および反応器コンポーネントを高温のアンモニア、水素、シリコン蒸気、溶融金属から保護します。 VeTek Semiconductor は、お客様のカスタマイズされた要件を満たす幅広いグラファイト処理および測定機能を備えているため、お客様およびお客様の特定の用途に適したソリューションを設計する準備ができている専門エンジニアのチームとともに、有料のコーティングまたはフルサービスを提供できます。。

化合物半導体結晶

VeTek Semiconductor は、さまざまなコンポーネントやキャリアに特殊な TaC コーティングを提供できます。 VeTek Semiconductor の業界をリードするコーティングプロセスを通じて、TaC コーティングは高純度、高温安定性、および高い耐薬品性を得ることができ、それにより結晶 TaC/GaN および EPl 層の製品品質が向上し、重要なリアクターコンポーネントの寿命が延長されます。

断熱材

るつぼ、シードホルダー、デフレクター、フィルターなどの SiC、GaN、AlN 結晶成長コンポーネント。抵抗加熱素子、ノズル、シールドリング、ろう付け治具を含む工業用アセンブリ、ウェーハキャリア、サテライトトレイ、シャワーヘッド、キャップおよび台座を含む GaN および SiC エピタキシャル CVD リアクタコンポーネント、MOCVD コンポーネント。

目的：

●LED(発光ダイオード)ウエハキャリア

●ALD(半導体)レシーバー

●EPI受容体（SiCエピタキシープロセス）

CVD TaCコーティング遊星SiCエピタキシャルサセプタ SiCエピタキシャルリアクタ用TaCコーティングリング TaCコーティング三花弁リング LPE用炭化タンタルコーティング半月部品

SiC コーティングと TaC コーティングの比較:

	SiC	TaC
主な特長	超高純度、優れた耐プラズマ性	優れた高温安定性（高温プロセス適合性）
純度	>99.9999%	>99.9999%
密度 (g/cm³)	3.21	15
硬度 (kg/mm²)	2900-3300	6.7-7.2
抵抗率 [Ωcm]	0.1～15,000	<1
熱伝導率(W/m-K)	200-360	22
熱膨張係数(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
応用	半導体装置用セラミック治具（フォーカスリング、シャワーヘッド、ダミーウエハ）	SiC単結晶育成、エピ、UV LED装置部品

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TACコーティングスペアパーツ

TACコーティングは現在、主に炭化シリコン単結晶成長（PVTメソッド）、エピタキシャルディスク（シリコン炭化物エピタキシー、LEDエピタキシーを含む）などのプロセスで使用されています。長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

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EPIレシーバーのGan

SIC EPI受容器のGANは、優れた熱伝導率、高温処理能力、化学的安定性を通じて半導体処理において重要な役割を果たし、GANエピタキシャル成長プロセスの高効率と材料品質を保証します。 Vetek Semiconductorは、SIC EPI ComptectorのGanの中国の専門メーカーです。ご紹介を心から楽しみにしています。

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CVD TACコーティングキャリア

CVD TACコーティングキャリアは、主に半導体製造のエピタキシャルプロセス向けに設計されています。 CVD TACコーティングキャリアの超高融点、優れた耐食性、および優れた熱安定性により、半導体エピタキシャルプロセスにおけるこの製品の不可欠性が決定されます。あなたのさらなるお問い合わせを歓迎します。

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TaC コーティングされたグラファイトレシーバー

Vetek半導体のTACコーティンググラファイト容疑者は、化学蒸気堆積（CVD）法を使用して、グラファイト部品の表面に炭化物コーティングを調製します。このプロセスは最も成熟しており、最高のコーティング特性を備えています。 TACコーティングされたグラファイト受容器は、グラファイト成分のサービス寿命を延長し、グラファイト不純物の移動を阻害し、エピタキシーの品質を確保することができます。お問い合わせを楽しみにしています。

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TACコーティングサブセル

Vetek半導体は、例外的なTACコーティングを備えたTACコーティング受容装置を提示します。この受容器は、従来のソリューションとは一線を画す多数の利点を提供します。既存のシステムにシームレスに統合すると、VETEK半導体からのTACコーティング受容装置は互換性と効率的な動作を保証します。信頼性の高いパフォーマンスと高品質のTACコーティングは、SICエピタキシープロセスで一貫して例外的な結果をもたらします。私たちは競争力のある価格で高品質の製品を提供することに取り組んでおり、中国での長期パートナーであることを楽しみにしています。

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