SiCエピタキシープロセス

VeTek Semiconductor の独自のカーバイドコーティングは、要求の厳しい半導体および複合半導体材料の処理のための SiC エピタキシープロセスにおけるグラファイト部品に優れた保護を提供します。その結果、グラファイト部品の寿命が延長され、反応化学量論が維持され、エピタキシーや結晶成長用途への不純物の移動が抑制され、収率と品質が向上します。

当社の炭化タンタル (TaC) コーティングは、高温 (最大 2200°C) で重要な炉および反応器コンポーネントを高温のアンモニア、水素、シリコン蒸気、溶融金属から保護します。 VeTek Semiconductor は、お客様のカスタマイズされた要件を満たす幅広いグラファイト処理および測定機能を備えているため、お客様およびお客様の特定の用途に適したソリューションを設計する準備ができている専門エンジニアのチームとともに、有料のコーティングまたはフルサービスを提供できます。。

化合物半導体結晶

VeTek Semiconductor は、さまざまなコンポーネントやキャリアに特殊な TaC コーティングを提供できます。 VeTek Semiconductor の業界をリードするコーティングプロセスを通じて、TaC コーティングは高純度、高温安定性、および高い耐薬品性を得ることができ、それにより結晶 TaC/GaN および EPl 層の製品品質が向上し、重要なリアクターコンポーネントの寿命が延長されます。

断熱材

るつぼ、シードホルダー、デフレクター、フィルターなどの SiC、GaN、AlN 結晶成長コンポーネント。抵抗加熱素子、ノズル、シールドリング、ろう付け治具を含む工業用アセンブリ、ウェーハキャリア、サテライトトレイ、シャワーヘッド、キャップおよび台座を含む GaN および SiC エピタキシャル CVD リアクタコンポーネント、MOCVD コンポーネント。

目的：

●LED(発光ダイオード)ウエハキャリア

●ALD(半導体)レシーバー

●EPI受容体（SiCエピタキシープロセス）

CVD TaCコーティング遊星SiCエピタキシャルサセプタ SiCエピタキシャルリアクタ用TaCコーティングリング TaCコーティング三花弁リング LPE用炭化タンタルコーティング半月部品

SiC コーティングと TaC コーティングの比較:

	SiC	TaC
主な特長	超高純度、優れた耐プラズマ性	優れた高温安定性（高温プロセス適合性）
純度	>99.9999%	>99.9999%
密度 (g/cm³)	3.21	15
硬度 (kg/mm²)	2900-3300	6.7-7.2
抵抗率 [Ωcm]	0.1～15,000	<1
熱伝導率(W/m-K)	200-360	22
熱膨張係数(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
応用	半導体装置用セラミック治具（フォーカスリング、シャワーヘッド、ダミーウエハ）	SiC単結晶育成、エピ、UV LED装置部品

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TACコーティングチャック

Vetek半導体のTACコーティングチャックは、特に炭化シリコン（SIC）エピタキシー（EPI）プロセスで、その優れた高温抵抗性と化学的不活性で知られる高品質のコーティングを備えています。当社の優れた機能と優れたパフォーマンスにより、当社のTACコーティングチャックはいくつかの重要な利点を提供します。私たちは高品質の製品を競争力のある価格で提供することに取り組んでおり、中国での長期パートナーであることを楽しみにしています。

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LPE SiC EPI ハーフムーン

LPE SiC Epi Halfmoon は、水平エピタキシー炉用に特別に設計されたもので、LPE リアクター SiC エピタキシープロセスを向上させるために設計された革新的な製品です。この最先端のソリューションは、製造業務全体を通じて優れたパフォーマンスと効率を保証するいくつかの重要な機能を備えています。Vetek Semiconductor は、6 インチ、8 インチの LPE SiC Epi ハーフムーン製造の専門家です。お客様との長期的な協力関係を確立することを楽しみにしています。

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炭化タンタル TaC コーティングハーフムーン

CVD TACコーティングでコーティングされたハーフムーンパーツは、SICコーティングされた半日中部よりも耐久性があります。VetekSemiconductorは、Tantalum Carbide TAC Coated Halfmoonの中国の大手メーカーおよびサプライヤーです。価格。長期的な協力に関するさらなる議論のために、私たちの工場を訪れてください。

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TACコーティングされた3ペタルリング

Vetek Semiconductorは、中国の主要なTACコーティングされた3ペタルリングメーカーおよびイノベーターです。長年にわたってTACおよびSICコーティングに特化しています。私たちの製品には耐食性があり、高強度があります。中国であなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。いつでも相談しましょう。

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Tantalum Carbide Coated Chuck

Vetek Semiconductorは、中国の主要な炭化物コーティングチャックメーカーおよびイノベーターです。私たちは長年にわたってTACコーティングに特化しています。私たちの製品は、2000年までの高純度と高温抵抗を持っています。

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炭化物コーティングされたタンタルムカバー

Vetek Semiconductorは、中国の主要な炭化物コーティングされたカバーメーカーおよびイノベーターです。私たちは長年にわたってTACおよびSICコーティングに特化しています。私たちの製品には耐食性があり、高強度があります。中国であなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。いつでも相談しましょう。

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中国の専門家SiCエピタキシープロセスメーカーおよびサプライヤーとして、私たちは独自の工場を持っています。あなたの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要であるか、中国製の高度で耐久性のあるSiCエピタキシープロセスを購入したい場合でも、メッセージを残すことができます。